| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 跨尺度集成概述 | 第11-12页 |
| 1.2 微纳跨尺度集成制造技术 | 第12-20页 |
| 1.3 微纳跨尺度集成制造现状 | 第20-22页 |
| 1.4 本论文的研究内容及研究意义 | 第22-24页 |
| 2 一维纳米结构在碳微机电系统(C-MEMS)结构上的规模化集成 | 第24-61页 |
| 2.1 前言 | 第24-25页 |
| 2.2 C-MEMS工艺研究 | 第25-29页 |
| 2.3 C-MEMS/SIO_XN_Y纳米线集成制造 | 第29-34页 |
| 2.4 C-MEMS/SIO_2纳米线集成制造 | 第34-44页 |
| 2.5 C-MEMS/碳纳米管集成制造 | 第44-46页 |
| 2.6 集成结构在葡萄糖传感器中的应用 | 第46-60页 |
| 2.7 本章小结 | 第60-61页 |
| 3 氧化锌纳米线在三维柔性碳微结构上的规模化集成 | 第61-83页 |
| 3.1 前言 | 第61-62页 |
| 3.2 纳米氧化锌的集成过程 | 第62-73页 |
| 3.3 氧化锌纳米线的表征 | 第73-75页 |
| 3.4 集成结构的电化学性能表征 | 第75-78页 |
| 3.5 集成结构在超级电容中的应用 | 第78-81页 |
| 3.6 本章小结 | 第81-83页 |
| 4 硅基纳米线的在微米高分子膜中的规模化集成 | 第83-104页 |
| 4.1 前言 | 第83页 |
| 4.2 硅基纳米线的集成方法 | 第83-92页 |
| 4.3 集成结构对L印性能的改进研究 | 第92-103页 |
| 4.4 本章小结 | 第103-104页 |
| 5 总结与展望 | 第104-107页 |
| 5.1 结论 | 第104-105页 |
| 5.2 展望 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-116页 |
| 附录 攻读博士期间发表的论文 | 第116-117页 |