| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 FBAR国内外发展 | 第10-11页 |
| 1.3 论文研究的内容 | 第11-12页 |
| 第2章 FBAR基础 | 第12-20页 |
| 2.1 压电理论 | 第12-14页 |
| 2.1.1 压电效应 | 第12-13页 |
| 2.1.2 压电方程 | 第13-14页 |
| 2.2 FBAR的工作原理 | 第14-17页 |
| 2.2.1 工作原理 | 第14-15页 |
| 2.2.2 器件优值 | 第15-16页 |
| 2.2.3 器件的材料 | 第16-17页 |
| 2.3 FBAR结构 | 第17-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 FBAR的等效电路模型及仿真 | 第20-34页 |
| 3.1 FBAR的等效电路模型 | 第20-25页 |
| 3.1.1 Mason等效电路模型 | 第20-23页 |
| 3.1.2 BVD等效电路模型 | 第23-24页 |
| 3.1.3 MBVD等效电路模型 | 第24-25页 |
| 3.2 FBAR仿真 | 第25-30页 |
| 3.2.1 Mason模型的ADS库 | 第25-27页 |
| 3.2.2 理想和实际FBAR器件的阻抗特性 | 第27-30页 |
| 3.3 FBAR性能的模拟分析 | 第30-32页 |
| 3.3.1 压电材料的厚度对FBAR阻抗特性的影响 | 第30-31页 |
| 3.3.2 顶电极的厚度对FBAR阻抗特性的影响 | 第31页 |
| 3.3.3 谐振区域的面积对FBAR阻抗特性的影响 | 第31-32页 |
| 3.4 FBAR结构的优化设计 | 第32-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 FBAR的制备和测试 | 第34-47页 |
| 4.1 FBAR的制备工艺简介 | 第34-36页 |
| 4.1.1 背空腔型FBAR | 第34-35页 |
| 4.1.2 空气隙型FBAR | 第35-36页 |
| 4.2 背空腔型FBAR的制备 | 第36-42页 |
| 4.2.1 第一次FBAR的制备 | 第36-38页 |
| 4.2.2 第二次FBAR的制备 | 第38-42页 |
| 4.3 FBAR器件的性能测试 | 第42-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 FBAR质量传感特性研究 | 第47-54页 |
| 5.1 典型的声波质量传感器 | 第47-49页 |
| 5.1.1 体声波质量传感器（QCM） | 第47-48页 |
| 5.1.2 表面声波（SAW）质量传感器 | 第48-49页 |
| 5.2 FBAR微质量传感器的工作原理 | 第49-51页 |
| 5.2.1 Sauerbrey方程 | 第50-51页 |
| 5.2.2 质量灵敏度 | 第51页 |
| 5.3 质量负载对FBAR谐振频率的影响 | 第51-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 在学研究成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |