| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-19页 |
| 1.3 论文研究主要内容 | 第19-20页 |
| 第2章 周期性介质结构 RF MEMS 开关原理与工艺 | 第20-26页 |
| 2.1 主要性能参数介绍 | 第20-22页 |
| 2.2 主要原理介绍 | 第22-24页 |
| 2.3 主要制备流程 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 周期性介质层结构 RF MEMS 开关设计 | 第26-36页 |
| 3.1 开关建模 | 第26页 |
| 3.2 开关结构分析 | 第26-27页 |
| 3.3 传输特性的研究 | 第27-35页 |
| 3.3.1 CST 电磁场介绍 | 第27-31页 |
| 3.3.2 RF-MEMS 开关微带信号传输特性仿真 | 第31-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 周期性介质层结构 RF-MEMS 开关建模 | 第36-44页 |
| 4.1 响应时间的研究 | 第36-40页 |
| 4.1.1 响应时间建模 | 第36-37页 |
| 4.1.2 开关响应仿真 | 第37-40页 |
| 4.2 下落速度的研究 | 第40-43页 |
| 4.2.1 下落速度建模 | 第40-41页 |
| 4.2.2 下落速度仿真 | 第41-43页 |
| 4.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 周期性介质层结构 RF-MEMS 开关传输性能仿真 | 第44-55页 |
| 5.1 等效电路模型建立 | 第44-46页 |
| 5.2 微波性能参数仿真 | 第46-53页 |
| 5.2.1 极板间距离对微波性能的影响 | 第46-48页 |
| 5.2.2 有效面积对微波性能的影响 | 第48-51页 |
| 5.2.3 凹槽深度对微波性能的影响 | 第51-53页 |
| 5.3 本章小结 | 第53-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
