| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 研究目的意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外发展及研究现状 | 第10-15页 |
| 1.3.1 超精密机床发展和研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3.2 超精密导轨的发展和研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3.3 导轨控制技术发展现状 | 第14-15页 |
| 1.4 课题研究主要内容 | 第15-16页 |
| 第2章 超精密液体静压导轨的静动态特性仿真 | 第16-36页 |
| 2.1 液体静压润滑驱动的基本原理 | 第16-20页 |
| 2.1.1 液体静压导轨的结构、工作原理及主要参数 | 第16-17页 |
| 2.1.2 液体静压润滑的基本理论 | 第17-19页 |
| 2.1.3 液体静压导轨的主要性能参数 | 第19-20页 |
| 2.2 液体静压导轨单个油垫的静态特性 | 第20-28页 |
| 2.2.1 液体静压导轨单个油垫的仿真分析方法和特性 | 第20-24页 |
| 2.2.2 单个油垫的承载力、刚度和流量的辨识 | 第24-26页 |
| 2.2.3 结构参数对单个油垫性能的影响 | 第26-28页 |
| 2.3 液体静压导轨的主要参数辨识 | 第28-31页 |
| 2.3.1 整个导轨承载力和刚度计算 | 第28-30页 |
| 2.3.2 刚度的实验验证 | 第30-31页 |
| 2.4 液体静压导轨动态特性分析 | 第31-35页 |
| 2.4.1 动力学分析理论基础 | 第31-32页 |
| 2.4.2 液体静压导轨的模态分析 | 第32-35页 |
| 2.5 小结 | 第35-36页 |
| 第3章 超精密液体静压导轨的控制技术研究 | 第36-49页 |
| 3.1 影响直线电机伺服系统性能的因素 | 第36-37页 |
| 3.2 控制系统结构组成 | 第37-38页 |
| 3.2.1 控制系统硬件选型 | 第37-38页 |
| 3.2.2 控制系统结构 | 第38页 |
| 3.3 直线电机驱动模型的建立 | 第38-40页 |
| 3.3.1 直线电机工作原理 | 第38-39页 |
| 3.3.2 直线电机运动模型的建立 | 第39-40页 |
| 3.4 控制模型的建立和仿真 | 第40-47页 |
| 3.4.1 控制环节的设计 | 第40-43页 |
| 3.4.2 控制环节的 Simulink 调试仿真 | 第43-44页 |
| 3.4.3 直线电机的机电耦合控制模型 | 第44-47页 |
| 3.5 圆弧运动的仿真研究 | 第47-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 超精密液体静压导轨的误差补偿及其加工实验 | 第49-65页 |
| 4.1 基于 PMAC 的控制系统硬件调试 | 第49-55页 |
| 4.1.1 基于 PMAC 的 PID 伺服滤波器 | 第49页 |
| 4.1.2 基于 PMAC 的控制系统 PID 参数设定 | 第49-54页 |
| 4.1.3 微位移实验 | 第54-55页 |
| 4.2 定位精度测试及其误差补偿 | 第55-62页 |
| 4.2.1 影响超精密液体静压导轨定位精度因素 | 第55-56页 |
| 4.2.2 基于 PMAC 的定位精度补偿原理 | 第56-58页 |
| 4.2.3 定位精度测量和补偿实现 | 第58-62页 |
| 4.3 加工实验 | 第62-64页 |
| 4.3.1 控制系统参数对加工影响 | 第62页 |
| 4.3.2 实验装置搭建及实验准备 | 第62-63页 |
| 4.3.3 车削实验 | 第63页 |
| 4.3.4 加工后表面检测 | 第63-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
