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单质靶溅射制备铜锌锡硫薄膜材料及太阳电池

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第10-20页
    1.1 引言第10-12页
    1.2 太阳电池工作原理第12-13页
    1.3 铜锌锡硫硒 (CZTS(Se))薄 膜太阳电池结构及理论研究第13-15页
    1.4 铜锌锡硫硒 (CZTS(Se))薄 膜及电池器件的制备方法第15-18页
        1.4.1 真空溅射法第15-16页
        1.4.2 真空蒸发法第16页
        1.4.3 电化学法第16-17页
        1.4.4 溶胶凝胶 -旋 转涂布法第17页
        1.4.5 喷雾热解法第17-18页
        1.4.6 其他方法第18页
    1.5 选题的研究意义及内容第18-19页
        1.5.1 研究内容第18-19页
        1.5.2 研究意义第19页
    1.6 本章小结第19-20页
第2章 CZTS(Se)薄 膜及电池的制备与表征设备第20-29页
    2.1 CZTS(Se)薄 膜成膜及太阳电池器件制备设备第20-23页
        2.1.1 全真空多腔室新型薄膜太阳电池溅射系统第20-21页
        2.1.2 红外快速硫化室第21页
        2.1.3 智能恒温水浴锅第21-22页
        2.1.4 单腔室蒸发镀膜系统第22-23页
    2.2 CZTS(Se)薄 膜及太阳电池的表征设备第23-28页
        2.2.1 全自动数字式显微镜第23页
        2.2.2 扫描电子显微镜第23-24页
        2.2.3 X射 线能谱仪第24页
        2.2.4 X射 线衍射仪第24-25页
        2.2.5 显微拉曼光谱仪第25-26页
        2.2.6 分光光度计第26页
        2.2.7 霍尔测试系统第26-27页
        2.2.8 太阳电池电流 -电 压测试系统第27-28页
    2.3 本章小结第28-29页
第3章 CZTS(Se)薄 膜的制备和特性表征第29-56页
    3.1 金属预制层制备CZTS薄 膜第29-46页
        3.1.1 CZT预 制层的设计与制备第29-30页
        3.1.2 CZT预 制层的硫化第30-31页
        3.1.3 抑制金属预制层在硫化过程中的Sn损 失第31-35页
        3.1.4 消除金属预制层硫化过程中的Sn损 失第35-36页
        3.1.5 温度曲线对CZTS薄 膜的影响第36-41页
        3.1.6 预制层溅射顺序对CZTS薄 膜的影响第41-46页
    3.2 二元靶制备CZTS薄 膜第46-52页
        3.2.1 二元靶化合物靶的特性第46-47页
        3.2.2 二元靶溅射制备CZTS薄 膜第47-50页
        3.2.3 溅射顺序对二元靶制备CZTS薄 膜的影响第50-52页
    3.3 CZTSe薄 膜的制备第52-54页
    3.4 本章小结第54-56页
第4章 CZTS(Se)薄 膜太阳电池的制备及性能分析第56-71页
    4.1 CZTS薄 膜的光电性能表征第56-60页
    4.2 CZTS(Se)薄 膜太阳电池的制备第60-61页
    4.3 CZTS(Se)薄 膜太阳电池的性能测试与分析第61-65页
    4.4 高串联电阻的原因分析第65-69页
    4.5 本章小结第69-71页
第5章 结论与展望第71-75页
    5.1 主要结论第71-73页
    5.2 论文创新点第73页
    5.3 未来的工作和展望第73-75页
参考文献第75-84页
攻读硕士学位期间发表的论文和研究成果第84-86页
致谢第86页

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