RBSiC超声辅助磨削工艺研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 课题背景 | 第7-8页 |
| 1.2 反应烧结碳化硅材料空间反射镜研究现状 | 第8-9页 |
| 1.3 碳化硅材料加工技术研究现状 | 第9-11页 |
| 1.4 超声辅助磨削技术研究现状 | 第11-12页 |
| 1.5 课题来源与研究内容 | 第12-14页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第12-13页 |
| 1.5.2 本文研究内容 | 第13-14页 |
| 2 超声辅助磨削试验平台及磨削过程运动学分析 | 第14-22页 |
| 2.1 超声振动系统组成 | 第14-17页 |
| 2.2 试验材料 | 第17-18页 |
| 2.3 超声辅助磨削磨粒运动学分析 | 第18-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 RBSiC超声辅助磨削表面形貌观测 | 第22-30页 |
| 3.1 磨削试验参数及检测方法 | 第22-24页 |
| 3.1.1 磨削试验参数 | 第22页 |
| 3.1.2 表面形貌观测方法 | 第22-23页 |
| 3.1.3 粗糙度检测方法 | 第23-24页 |
| 3.2 表面形貌观察结果 | 第24-26页 |
| 3.3 表面形貌图像识别处理 | 第26-28页 |
| 3.4 磨削表面粗糙度 | 第28-29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 4 RBSiC超声辅助磨削亚表面损伤研究 | 第30-39页 |
| 4.1 亚表面损伤检测方法 | 第30-33页 |
| 4.1.1 截面显微法 | 第30-32页 |
| 4.1.2 截面显微法试样制备效果 | 第32-33页 |
| 4.2 亚表面损伤特征 | 第33-34页 |
| 4.3 亚表面损伤深度统计 | 第34-38页 |
| 4.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 5 RBSiC材料超声辅助磨削力研究 | 第39-46页 |
| 5.1 磨削力测量试验方法 | 第39-41页 |
| 5.2 磨削力试验结果 | 第41-45页 |
| 5.2.1 磨削深度对磨削力影响 | 第41-43页 |
| 5.2.2 进给速度对磨削力影响 | 第43-44页 |
| 5.2.3 主轴转速对磨削力影响 | 第44-45页 |
| 5.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
