SEM的动态扫描算法研究及其FPGA实现
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-11页 |
| 1.1 课题背景 | 第9页 |
| 1.2 扫描电镜的发展历程及应用领域 | 第9-10页 |
| 1.3 论文主要研究内容及组织结构 | 第10-11页 |
| 第2章 扫描电子显微镜(SEM) | 第11-21页 |
| 2.1 SEM的电子光学基础 | 第11-13页 |
| 2.2 SEM的基本结构及工作原理 | 第13-18页 |
| 2.2.1 SEM的基本结构 | 第13-17页 |
| 2.2.2 SEM的工作原理 | 第17-18页 |
| 2.3 SEM的主要噪声源 | 第18-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-21页 |
| 第3章 SEM动态扫描算法的Matlab仿真 | 第21-35页 |
| 3.1 噪声模型 | 第21-24页 |
| 3.1.1 噪声模型建立 | 第21-23页 |
| 3.1.2 统计分布模型 | 第23-24页 |
| 3.2 动态扫描算法研究 | 第24-27页 |
| 3.2.1 动态扫描算法 | 第24-26页 |
| 3.2.2 简化动态扫描算法 | 第26-27页 |
| 3.3 动态扫描算法的Matlab仿真及结果分析 | 第27-33页 |
| 3.3.1 算法仿真 | 第27-29页 |
| 3.3.2 图像仿真 | 第29-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第4章 SEM动态扫描算法的FPGA实现与验证 | 第35-57页 |
| 4.1 SEM实验平台设计 | 第35-47页 |
| 4.1.1 SEM平台总体结构及需求分析 | 第35-37页 |
| 4.1.2 硬件平台设计 | 第37-46页 |
| 4.1.3 软件平台介绍 | 第46-47页 |
| 4.2 FPGA逻辑设计 | 第47-51页 |
| 4.2.1 扫描模块设计 | 第48-49页 |
| 4.2.2 采集模块设计 | 第49-50页 |
| 4.2.3 复位控制的实现 | 第50-51页 |
| 4.3 动态扫描算法的FPGA实现 | 第51-56页 |
| 4.3.1 方差运算的FPGA实现与验证 | 第51-53页 |
| 4.3.2 开放运算的FPGA实现与验证 | 第53-55页 |
| 4.3.3 查表功能的实现 | 第55-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 总结 | 第57页 |
| 5.2 展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
