| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 THz技术及其应用 | 第9-10页 |
| 1.2 THz滤波器的发展 | 第10-14页 |
| 1.3 选题内容和章节安排 | 第14-17页 |
| 第二章 FP腔滤波器的研究 | 第17-37页 |
| 2.1 FP腔滤波器的结构原理 | 第17-29页 |
| 2.1.1 FP腔多光束干涉原理 | 第17-21页 |
| 2.1.2 FP腔滤波器的特性 | 第21-22页 |
| 2.1.3 传输矩阵法 | 第22-29页 |
| 2.2 THz级联双FP腔特性研究 | 第29-30页 |
| 2.3 THz波段FP腔反射镜 | 第30-33页 |
| 2.3.1 THz波段的材料特性 | 第31-32页 |
| 2.3.2 腔镜的选择 | 第32-33页 |
| 2.4 FP腔的调节方法 | 第33-36页 |
| 2.4.1 FP腔平行的调节 | 第34-35页 |
| 2.4.2 FP腔距离的调节 | 第35-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 基于金属网栅FP腔结构的THz窄带滤波器的研究 | 第37-51页 |
| 3.1 金属网栅FP腔THz窄带滤波器的设计要求 | 第37-39页 |
| 3.2 | 第39-42页 |
| 3.2.1 网栅周期的影响 | 第39-40页 |
| 3.2.2 网栅线宽的影响 | 第40页 |
| 3.2.3 网栅厚度的影响 | 第40-42页 |
| 3.3 金属网栅样品的制作 | 第42-49页 |
| 3.3.1 正胶法 | 第43-45页 |
| 3.3.2 负胶法 | 第45-49页 |
| 3.4 金属网栅样品的特性 | 第49-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 基于薄硅片FP腔结构的THz窄带滤波器的研究 | 第51-65页 |
| 4.1 硅FP腔结构THz窄带滤波器的设计 | 第51-53页 |
| 4.2 硅样品的制作 | 第53-63页 |
| 4.2.1 硅的晶体结构 | 第54-55页 |
| 4.2.2 硅样品的腐蚀 | 第55-60页 |
| 4.2.3 硅样品的测验 | 第60-63页 |
| 4.3 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 作者简介 | 第73页 |