| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 1 绪论 | 第14-25页 |
| 1.1 课题的研究背景 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外外差干涉测量系统主要误差的研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.1 双频激光干涉仪的发展 | 第15-17页 |
| 1.2.2 外差干涉测量系统的主要误差 | 第17-19页 |
| 1.2.3 外差干涉测量系统主要误差抑制方法的研究现状 | 第19-23页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第23-25页 |
| 2 外差干涉测量系统 | 第25-33页 |
| 2.1 系统的组成结构 | 第25-26页 |
| 2.2 系统的测量原理 | 第26-31页 |
| 2.2.1 光的干涉 | 第26-27页 |
| 2.2.2 多普勒效应 | 第27-28页 |
| 2.2.3 外差干涉法 | 第28-31页 |
| 2.3 外差干涉测量系统的应用 | 第31-32页 |
| 2.4 小结 | 第32-33页 |
| 3 外差干涉测量系统的误差测量与分析 | 第33-54页 |
| 3.1 外差干涉测量系统的误差测量 | 第33-37页 |
| 3.1.1 系统误差的测量 | 第33-34页 |
| 3.1.2 数据处理与分析 | 第34-37页 |
| 3.2 激光源波长的不稳定 | 第37-38页 |
| 3.3 光学元器件的非理想特性 | 第38-44页 |
| 3.3.1 偏振分光镜的漏光和混频 | 第39-43页 |
| 3.3.2 偏振分光镜的安装误差 | 第43-44页 |
| 3.4 外界环境误差 | 第44-47页 |
| 3.4.1 空气折射率的影响 | 第45-47页 |
| 3.4.2 被测物体材料热膨胀的影响 | 第47页 |
| 3.5 死程误差 | 第47-49页 |
| 3.6 阿贝误差 | 第49-51页 |
| 3.7 余弦误差 | 第51-52页 |
| 3.8 系统误差评定 | 第52-53页 |
| 3.9 小结 | 第53-54页 |
| 4 外差干涉测量系统主要误差的抑制 | 第54-68页 |
| 4.1 光学倍程法 | 第54-57页 |
| 4.1.1 光学倍程原理 | 第54页 |
| 4.1.2 四倍程双频激光干涉仪 | 第54-57页 |
| 4.2 相位补偿法 | 第57-62页 |
| 4.2.1 琼斯矩阵法 | 第57-58页 |
| 4.2.2 四分之一波片 | 第58页 |
| 4.2.3 偏振片 | 第58-60页 |
| 4.2.4 相位补偿 | 第60-62页 |
| 4.3 外界环境温度补偿 | 第62-67页 |
| 4.3.1 不同环境温度下系统的误差测量 | 第63-65页 |
| 4.3.2 对系统测量结果进行温度补偿 | 第65-67页 |
| 4.4 补偿前后系统的误差对比 | 第67页 |
| 4.5 小结 | 第67-68页 |
| 5 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 论文总结 | 第68页 |
| 5.2 论文的不足和展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 作者简历 | 第74页 |