| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 引言 | 第9-17页 |
| 1.1 论文课题背景与选题依据 | 第9页 |
| 1.2 紫外探测技术的研究背景及问题 | 第9-11页 |
| 1.3 紫外光电探测器的国内外研究进展 | 第11-14页 |
| 1.4 研究器件实现的方法和手段 | 第14-15页 |
| 1.5 论文主要研究内容与章节安排 | 第15页 |
| 1.6 论文的创新点 | 第15-17页 |
| 第二章 紫外光电探测器的基本理论知识 | 第17-26页 |
| 2.1 半导体光电探测器基础 | 第17-21页 |
| 2.1.1 PN结 | 第17-21页 |
| 2.2 紫外光电二极管的理论基础 | 第21-23页 |
| 2.2.1 普通光电二极管 | 第21-22页 |
| 2.2.2 PIN光电二极管 | 第22页 |
| 2.2.3 雪崩光电二极管（APD） | 第22-23页 |
| 2.2.4 紫外光电二极管（UV-PD） | 第23页 |
| 2.3 紫外光电二极管的性能指标 | 第23-25页 |
| 2.3.1 量子效应及响应度 | 第23-24页 |
| 2.3.2 雪崩倍增因子M（x） | 第24-25页 |
| 2.3.3 过剩噪声因子 | 第25页 |
| 2.3.4 紫外选择因子 | 第25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 叉指状紫外光电探测器的研究与设计 | 第26-32页 |
| 3.1 叉指状紫外探测器结构 | 第26-27页 |
| 3.2 叉指状紫外探测器的原理 | 第27-31页 |
| 3.2.1 Ⅰ区的扩散电流 | 第28-29页 |
| 3.2.2 Ⅱ区产生的光电流 | 第29页 |
| 3.2.3 Ⅲ区的扩散电流 | 第29-30页 |
| 3.2.4 光谱效应 | 第30页 |
| 3.2.5 响应度 | 第30-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 叉指状紫外光电探测器的数值仿真与器件仿真 | 第32-47页 |
| 4.1 叉指状紫外光电探测器的数值仿真 | 第32-38页 |
| 4.1.1 响应度 | 第33-34页 |
| 4.1.2 器件的紫外选择性 | 第34-35页 |
| 4.1.3 倍增增益 | 第35-37页 |
| 4.1.4 噪声特性 | 第37-38页 |
| 4.2 叉指状紫外光电探测器的器件仿真 | 第38-46页 |
| 4.2.1 Silvaco Atlas器件模拟工具 | 第38-39页 |
| 4.2.2 N阱掺杂的暗电流 | 第39页 |
| 4.2.3 电位分布 | 第39-40页 |
| 4.2.4 电场分布 | 第40-41页 |
| 4.2.5 光谱响应 | 第41-42页 |
| 4.2.6 光敏特性 | 第42页 |
| 4.2.7 瞬态响应 | 第42-44页 |
| 4.2.8 雪崩击穿电压 | 第44-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 叉指状紫外光电探测器的流片及测试分析 | 第47-55页 |
| 5.1 叉指状紫外探测器件的流片 | 第47-50页 |
| 5.2 叉指状紫外探测器件的测试 | 第50-54页 |
| 5.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 总结与展望 | 第55-56页 |
| 6.1 工作总结 | 第55页 |
| 6.2 不足与展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 附录A 个人简历 | 第61-62页 |
| 附录B 硕士期间学术成果列表 | 第62页 |