高重复率ArF准分子激光器的关键技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 准分子激光器的发展历史 | 第11页 |
| 1.2 准分子激光器的应用 | 第11-14页 |
| 1.2.1 医疗应用 | 第11-12页 |
| 1.2.2 科研应用 | 第12-13页 |
| 1.2.3 工业应用 | 第13-14页 |
| 1.3 高重复率准分子激光器国内外发展现状 | 第14-15页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第15-17页 |
| 第2章 高重复率准分子激光器的关键技术 | 第17-35页 |
| 2.1 准分子激光腔 | 第17-18页 |
| 2.2 预电离技术 | 第18-22页 |
| 2.3 电极面型设计技术 | 第22-25页 |
| 2.4 高速气体循环技术 | 第25-28页 |
| 2.5 声学激波的抑制技术 | 第28-31页 |
| 2.6 热交换技术 | 第31-33页 |
| 2.7 本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 放电电极及预电离结构设计 | 第35-43页 |
| 3.1 放电电极设计 | 第35-37页 |
| 3.2 预电离结构设计 | 第37-38页 |
| 3.3 电场仿真 | 第38-41页 |
| 3.3.1 电场仿真理论基础 | 第38页 |
| 3.3.2 ANSYS电场仿真过程 | 第38-40页 |
| 3.3.3 电场仿真结果与分析 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 高速气体循环系统设计 | 第43-67页 |
| 4.1 激光腔体 | 第43-44页 |
| 4.2 风机驱动系统设计 | 第44-48页 |
| 4.2.1 横流式风机设计 | 第44-45页 |
| 4.2.2 磁耦合器设计 | 第45-48页 |
| 4.3 气体循环流道设计 | 第48-50页 |
| 4.3.1 放电区上下游循环流道设计 | 第48-49页 |
| 4.3.2 流道的声波反射结构设计 | 第49-50页 |
| 4.4 循环流道的流场数值仿真 | 第50-59页 |
| 4.4.1 流场仿真的模型参数 | 第50页 |
| 4.4.2 流场仿真理论基础 | 第50-52页 |
| 4.4.3 ICEM网格划分方法 | 第52-54页 |
| 4.4.4 FLUENT流场仿真 | 第54-55页 |
| 4.4.5 流场仿真结果与分析 | 第55-59页 |
| 4.5 双电机驱动控制技术 | 第59-64页 |
| 4.5.1 基于电流差值控制的负载均衡控制系统 | 第59-61页 |
| 4.5.2 硬件和软件设计 | 第61-63页 |
| 4.5.3 两台无刷直流电机负载均衡控制实验结果 | 第63-64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-67页 |
| 第5章 冷却系统设计 | 第67-73页 |
| 5.1 翅片式热交换器设计 | 第67-68页 |
| 5.2 热胀冷缩结构设计 | 第68-69页 |
| 5.3 汇流结构设计 | 第69-70页 |
| 5.4 紊流器的调研采购 | 第70-72页 |
| 5.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第6章 高重复率ArF激光实验 | 第73-97页 |
| 6.1 ArF激光器工作动力学过程简介 | 第73-74页 |
| 6.2 全固态脉冲电源 | 第74-77页 |
| 6.3 预电离结构对高重复率放电的影响 | 第77-80页 |
| 6.4 高重复率实验结果 | 第80-90页 |
| 6.4.1 电极结构Ⅰ的放电实验 | 第80-82页 |
| 6.4.2 电极结构Ⅱ的出光实验 | 第82-89页 |
| 6.4.3 腔体热平衡测量 | 第89-90页 |
| 6.5 提高放电间距对高重复率放电的影响 | 第90-95页 |
| 6.5.1 电极结构Ⅲ的放电实验 | 第90-94页 |
| 6.5.2 电极结构Ⅳ的放电实验 | 第94-95页 |
| 6.6 本章小结 | 第95-97页 |
| 第7章 总结与展望 | 第97-102页 |
| 7.1 总结 | 第97-99页 |
| 7.2 展望 | 第99-102页 |
| 参考文献 | 第102-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第112页 |
