CVD金刚石涂层硬质合金刀具Ta_xC过渡层的制备及其性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·金刚石膜的简介及其制备方法 | 第10-12页 |
| ·CVD金刚石涂层刀具概述 | 第12-18页 |
| ·CVD金刚石涂层刀具的特点 | 第12-15页 |
| ·CVD金刚石涂层刀具的应用进展 | 第15-18页 |
| ·双辉等离子体表面合金化技术 | 第18-19页 |
| ·Ta_xC和Mo的性能及应用 | 第19-20页 |
| ·Ta_xC的性能及应用 | 第19-20页 |
| ·Mo的性能及应用 | 第20页 |
| ·本课题的提出与研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 实验方法及过程 | 第22-30页 |
| ·实验材料及方案 | 第22-23页 |
| ·实验参数 | 第23-27页 |
| ·Ta_xC过渡层的制备 | 第23-25页 |
| ·Mo促形核层的制备 | 第25页 |
| ·金刚石涂层的沉积 | 第25-27页 |
| ·表征方法及性能测试 | 第27-30页 |
| ·表征方法 | 第27-28页 |
| ·性能测试 | 第28-30页 |
| 第三章 基体温度对Ta_xC过渡层的影响 | 第30-52页 |
| ·Ta_xC过渡层的成分分析 | 第30-34页 |
| ·XRD分析 | 第30-33页 |
| ·XPS分析 | 第33-34页 |
| ·Ta_xC过渡层的显微形貌分析 | 第34-41页 |
| ·表面形貌分析 | 第34-38页 |
| ·截面形貌分析 | 第38-41页 |
| ·纳米Ta_xC过渡层的成膜机理分析 | 第41-45页 |
| ·薄膜的结构区域模型 | 第41-43页 |
| ·不同基体温度下Ta_xC过渡层成膜分析 | 第43-45页 |
| ·Ta_xC过渡层的综合性能分析 | 第45-51页 |
| ·显微硬度 | 第45-46页 |
| ·摩擦学性能 | 第46-49页 |
| ·结合强度 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 Ta_xC过渡层表面金刚石涂层的沉积 | 第52-56页 |
| ·相结构分析 | 第52-53页 |
| ·截面形貌及元素分布 | 第53-54页 |
| ·金刚石涂层表面形貌及结合强度分析 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 Mo促形核层的制备及其性能分析 | 第56-66页 |
| ·Mo促形核层的制备 | 第56-57页 |
| ·Mo促形核层的相分析 | 第57-58页 |
| ·形核实验及结果分析 | 第58-62页 |
| ·形核实验 | 第58-61页 |
| ·结果分析 | 第61-62页 |
| ·Mo促形核层表面金刚石涂层的沉积 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-66页 |
| 第六章 结论与展望 | 第66-68页 |
| ·结论 | 第66-67页 |
| ·展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-76页 |
| 攻读硕士期间的学术成果 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
