多晶硅铸锭炉热场可视化分析及其关键技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-14页 |
| 部分常量/变量含义 | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-37页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第15-19页 |
| ·研究背景 | 第15-18页 |
| ·选题意义 | 第18-19页 |
| ·多晶硅太阳电池研究现状 | 第19-25页 |
| ·多晶硅太阳电池发展现状 | 第19-20页 |
| ·多晶硅太阳电池的影响因素 | 第20-21页 |
| ·多晶硅锭制备方法 | 第21-25页 |
| ·多晶硅铸锭炉关键技术研究现状 | 第25-33页 |
| ·国内外多晶硅铸锭炉制造现状 | 第25-27页 |
| ·热场研究现状 | 第27-29页 |
| ·温度控制研究现状 | 第29-32页 |
| ·晶体生长工艺研究现状 | 第32-33页 |
| ·课题技术支持及研究内容 | 第33-35页 |
| ·课题技术支持 | 第33页 |
| ·主要研究内容 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第二章 多晶硅铸锭炉结构及控制系统关键技术 | 第37-61页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·设备工作流程 | 第37-39页 |
| ·机械结构及热场分析 | 第39-50页 |
| ·设备机械结构 | 第39-41页 |
| ·热场性能分析 | 第41-42页 |
| ·热场能耗分析 | 第42-44页 |
| ·隔热屏优化与分析 | 第44-50页 |
| ·控制系统分析 | 第50-59页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第50-52页 |
| ·控制系统软件设计 | 第52-54页 |
| ·温控系统特性分析 | 第54-56页 |
| ·双区加热系统分析 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第三章 传热过程分析及数值模拟 | 第61-79页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·传热过程分析 | 第61-68页 |
| ·硅料熔化阶段传热模型 | 第61-64页 |
| ·晶体生长阶段传热模型 | 第64-67页 |
| ·硅锭退火阶段传热模型 | 第67-68页 |
| ·热场仿真分析 | 第68-73页 |
| ·热场数值计算及软件介绍 | 第68-69页 |
| ·建模及材料物性参数设置 | 第69-71页 |
| ·网格划分及边界条件设置 | 第71-72页 |
| ·加载载荷求解 | 第72-73页 |
| ·结果分析及模型验证 | 第73-77页 |
| ·仿真结果分析 | 第73-76页 |
| ·模型准确性验证 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第四章 热场结构优化仿真及试验 | 第79-97页 |
| ·引言 | 第79页 |
| ·优化方案一及试验 | 第79-87页 |
| ·加热室结构优化 | 第79-80页 |
| ·数值计算及结果分析 | 第80-83页 |
| ·设备改造及试验研究 | 第83-85页 |
| ·结果对比分析 | 第85-87页 |
| ·优化方案二及试验 | 第87-96页 |
| ·加热室结构优化 | 第87-88页 |
| ·数值计算及结果分析 | 第88-91页 |
| ·设备改造及试验 | 第91-94页 |
| ·结果分析对比 | 第94-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 第五章 多晶硅铸锭炉温控系统研究 | 第97-115页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·温控模型辨识 | 第97-101页 |
| ·温控系统影响因素 | 第97-98页 |
| ·系统模型简化及建模 | 第98-99页 |
| ·模型参数辨识 | 第99-101页 |
| ·中心点温度控制策略 | 第101-104页 |
| ·串级温控系统设计 | 第102页 |
| ·模糊控制策略设计 | 第102-104页 |
| ·模糊控制器结构选型 | 第104页 |
| ·模糊控制器设计与仿真 | 第104-111页 |
| ·输入输出论域设定及模糊化 | 第104-106页 |
| ·输入输出隶属度函数选择 | 第106-109页 |
| ·控制规则建立 | 第109-110页 |
| ·模糊推理及清晰化 | 第110-111页 |
| ·仿真及结果分析 | 第111-113页 |
| ·本章小结 | 第113-115页 |
| 第六章 工艺试验及性能测试 | 第115-135页 |
| ·引言 | 第115页 |
| ·晶体生长工艺及质量性能分析 | 第115-123页 |
| ·晶体生长工艺研究 | 第115-118页 |
| ·杂质对晶体质量的影响 | 第118-120页 |
| ·缺陷对晶体质量的影响 | 第120-121页 |
| ·硅锭电学性能指标 | 第121-123页 |
| ·工艺试验及性能测试 | 第123-132页 |
| ·晶体生长试验 | 第123-125页 |
| ·硅锭性能分析 | 第125-128页 |
| ·硅片性能分析 | 第128-132页 |
| ·实验结论 | 第132-133页 |
| ·本章小结 | 第133-135页 |
| 第七章 论文总结与工作展望 | 第135-139页 |
| ·论文总结 | 第135-136页 |
| ·创新点 | 第136-137页 |
| ·工作展望 | 第137-139页 |
| 参考文献 | 第139-149页 |
| 致谢 | 第149-151页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第151-153页 |
| 攻读博士学位期间参与项目、专利及获奖情况 | 第153页 |
