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CVD法硅改性铝化物复合涂层工艺及性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-12页
第一章 绪论第12-24页
   ·选题背景与意义第12-14页
   ·镍基高温合金第14-16页
     ·高温合金的发展第14-15页
     ·镍基高温合金中合金元素主要作用第15-16页
     ·我国高温合金牌号的表示方法第16页
   ·铝化物涂层制备工艺第16-18页
   ·国内外研究现状第18-23页
     ·单一铝化物涂层第18-19页
     ·改性铝化物涂层第19-22页
     ·热障涂层第22-23页
   ·本文研究内容与研究路线第23-24页
第二章 试验材料与研究方法第24-32页
   ·试验材料第24页
   ·CVD铝化物涂层沉积设备及工艺过程第24-26页
   ·涂层性能表征方法的研究工作第26-32页
     ·试样处理第26-27页
     ·金相检测第27-28页
     ·维氏硬度检测第28-29页
     ·扫描电子显微镜检测第29页
     ·抗高温氧化性能试验第29-32页
第三章 单一铝化物涂层CVD法沉积+扩散复合处理工艺研究第32-49页
   ·CVD法单一铝化物涂层结构研究第32-37页
   ·单一铝化物涂层CVD法沉积+扩散复合处理工艺研究第37-45页
     ·扩散处理后金相分析第38-39页
     ·扩散处理后涂层层深方向硬度梯度分布分析第39页
     ·扩散处理后涂层层深方向EDS分析第39-45页
   ·单一铝化物涂层形成过程探讨第45-48页
     ·气态扩散过程第45-47页
     ·固态扩散过程第47-48页
   ·本章小结第48-49页
第四章 CVD法Si改性铝化物涂层制备工艺研究第49-70页
   ·CVD一步法Si改性铝化物涂层制备工艺研究第49-53页
   ·CVD两步法Si改性铝化物涂层制备工艺的设计第53-60页
     ·硅化物涂层CVD法沉积反应和热力学计算第53-55页
     ·温度对硅化物形成影响第55-57页
     ·硅化物涂层CVD法沉积工艺研究第57-60页
   ·CVD两步法(先沉积铝后沉积硅)改性铝化物涂层制备工艺研究第60-62页
   ·CVD两步法(先沉积硅后沉积铝)改性铝化物涂层制备工艺研究第62-65页
   ·CVD两步法(先沉积硅后沉积铝)+扩散复合处理工艺研究第65-68页
   ·本章小结第68-70页
第五章 CVD法硅改性铝化物复合涂层抗高温氧化性能研究第70-74页
   ·高温氧化试验结果与分析第70-71页
   ·高温氧化后试样截面分析第71-72页
   ·高温氧化过程分析第72-73页
   ·本章小结第73-74页
第六章 结论第74-76页
   ·全文主要成果和结论第74-75页
   ·论文的主要创新点第75-76页
参考文献第76-81页
致谢第81-82页
附录:攻读硕士学位期间的主要工作及发表的文章第82页

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