| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-17页 |
| ·研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·清洗方式概述 | 第12-13页 |
| ·超声波清洗技术的发展及优点 | 第13-14页 |
| ·超声波清洗技术发展史 | 第13-14页 |
| ·超声波清洗技术优点 | 第14页 |
| ·超声波清洗机发展史 | 第14-16页 |
| ·课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 超声波干式清洗机的组成及清洗原理介绍 | 第17-29页 |
| ·超声波干式清洗机组成 | 第17-18页 |
| ·固体表面微粒附着 | 第18-20页 |
| ·固体表面微粒的附着方式 | 第18-19页 |
| ·微颗粒附着固体表面作用力 | 第19页 |
| ·固体表面粘附力学模型 | 第19-20页 |
| ·超声波的特性 | 第20-25页 |
| ·超声波传播波形 | 第20-21页 |
| ·超声波的反射 | 第21-25页 |
| ·清洗头清洗原理 | 第25-28页 |
| ·微颗粒被清洗时的运动模式 | 第25-26页 |
| ·清洗头清洗原理 | 第26-28页 |
| ·清洗头的特点 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 超声波干式清洗机机械系统设计 | 第29-48页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·机械系统总体设计 | 第29-31页 |
| ·原理方案设计 | 第29-30页 |
| ·主要的技术参数 | 第30-31页 |
| ·结构总体设计 | 第31页 |
| ·动力系统设计 | 第31-35页 |
| ·电动机的选型 | 第31-32页 |
| ·电动机的计算 | 第32-35页 |
| ·传动系统设计 | 第35-40页 |
| ·传动方式的选择 | 第35-37页 |
| ·齿形同步带的设计 | 第37-40页 |
| ·执行部分设计 | 第40-46页 |
| ·升降部分结构设计 | 第40-44页 |
| ·移动部分结构设计 | 第44-46页 |
| ·支撑系统设计 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 4 超声波干式清洗机关键零部件有限元仿真 | 第48-67页 |
| ·建模软件及有限元分析软件介绍 | 第48-49页 |
| ·SolidWorks 软件简介 | 第48页 |
| ·ANSYS 软件简介 | 第48-49页 |
| ·机架有限元仿真分析 | 第49-57页 |
| ·机架静力学分析 | 第49-55页 |
| ·机架模态分析 | 第55-57页 |
| ·移动机架有限元仿真分析 | 第57-59页 |
| ·移动机架受力分析 | 第57页 |
| ·移动机架有限元建模 | 第57-58页 |
| ·移动机架有限元结果分析 | 第58-59页 |
| ·台板有限元仿真分析 | 第59-61页 |
| ·台板受力分析 | 第59-60页 |
| ·台板有限元建模 | 第60页 |
| ·台板有限元结果分析 | 第60-61页 |
| ·玻璃基板支撑结构有限元仿真分析 | 第61-66页 |
| ·玻璃基板静止时有限元变形分析 | 第62-64页 |
| ·玻璃基板整形时有限元变形分析 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 5 超声波干式清洗机关键零部件的优化设计及试验机试制 | 第67-80页 |
| ·优化设计的概述 | 第67-69页 |
| ·机械优化设计的一般过程 | 第67页 |
| ·优化设计的数学模型 | 第67-69页 |
| ·机架的拓扑优化 | 第69-70页 |
| ·拓扑优化基本思路 | 第69-70页 |
| ·机架拓扑优化结果 | 第70页 |
| ·机架结构尺寸优化 | 第70-75页 |
| ·机架参数化模型的建立 | 第71页 |
| ·机架结构优化结果分析 | 第71-75页 |
| ·超声波干式清洗机试验机试制 | 第75-79页 |
| ·清洗机试制 | 第75-76页 |
| ·清洗效果实验 | 第76-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 6 总结与展望 | 第80-82页 |
| ·总结 | 第80-81页 |
| ·展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |