IC测试探针尺寸及表面缺陷的图像测量方法及系统
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·研究背景和意义 | 第8-9页 |
| ·测量方法比较 | 第9-12页 |
| ·接触式 | 第9-10页 |
| ·非接触式 | 第10页 |
| ·测量方式之比较 | 第10-11页 |
| ·微小零件之加工与测量精度 | 第11-12页 |
| ·机器视觉检测 | 第12-16页 |
| ·机器视觉检测概述 | 第12-13页 |
| ·机器视觉检测的国内外应用综述 | 第13-15页 |
| ·机器视觉检测存在的问题和发展趋势 | 第15-16页 |
| ·本文的研究内容 | 第16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 系统构成及检测原理 | 第17-25页 |
| ·机器视觉检测系统工作原理 | 第17页 |
| ·IC 探针检测系统总体设计 | 第17-23页 |
| ·主要元器件的选择 | 第20-23页 |
| ·系统软件 | 第23页 |
| ·IC 探针表面缺陷分析 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 IC 探针质量检测的关键技术 | 第25-44页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·图像采集 | 第25-26页 |
| ·图像处理 | 第26-28页 |
| ·边缘检测 | 第28-41页 |
| ·经典的边缘检测算子 | 第29-34页 |
| ·亚像素边缘检测 | 第34-39页 |
| ·圆的亚像素定位方法 | 第39-41页 |
| ·边界跟踪 | 第41-42页 |
| ·摄像机标定 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 IC 探针图像测量软件系统设计 | 第44-54页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·整体设计 | 第44-46页 |
| ·系统标定模块设计 | 第46-47页 |
| ·图像处理模块设计 | 第47-50页 |
| ·特征提取模块设计 | 第50-51页 |
| ·数据管理模块设计 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 IC 探针图像测量实验与分析 | 第54-67页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·系统标定 | 第54-56页 |
| ·探针尺寸测量 | 第56-59页 |
| ·探针尺寸测量流程 | 第56-57页 |
| ·实验与精度分析 | 第57-59页 |
| ·探针表面缺陷的亚像素边缘检测 | 第59-64页 |
| ·探针表面缺陷检测过程 | 第59-62页 |
| ·缺陷大小度量 | 第62页 |
| ·缺陷特征提取 | 第62-63页 |
| ·实验与分析 | 第63-64页 |
| ·误差分析 | 第64-66页 |
| ·误差的定义及表示方法 | 第64-65页 |
| ·误差来源 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 个人简历及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第72页 |
