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直接冷却单色器晶体加工方法及其工艺的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-7页
目录第7-9页
第一章 绪论第9-17页
   ·同步辐射光源第9-13页
     ·同步辐射光源的历史及发展第9页
     ·同步辐射光源的特性及优点第9-12页
     ·同步辐射装置及上海光源第12-13页
   ·研究背景、意义及内容第13-17页
     ·研究背景及意义第13-15页
     ·研究内容第15-17页
第二章 同步辐射光束线与晶体单色器第17-23页
   ·同步辐射光束线与前端区第17-19页
     ·同步辐射光束线第17-18页
     ·前端区第18-19页
   ·同步辐射光束线中的单色器第19-22页
     ·单色器介绍及其种类第19-21页
     ·双晶单色器第21-22页
   ·小结第22-23页
第三章 晶体单色器分光晶体的加工与检测第23-39页
   ·单晶硅晶体的切割技术第23-25页
     ·外圆切割第23-24页
     ·内圆切割第24页
     ·线锯切割第24-25页
   ·分光晶体的加工第25-32页
     ·单晶硅棒简介第25-26页
     ·晶体的粘接第26-27页
     ·晶体的定向第27-28页
     ·晶体的切割第28-32页
   ·分光晶体加工完成后的检测第32-37页
     ·粗糙度的检测第33-35页
     ·面形的检测第35页
     ·摇摆曲线的检测第35-37页
   ·小结第37-39页
第四章 分光晶体冷却结构的模拟与加工第39-55页
   ·分光晶体冷却结构的设计第39-42页
     ·原分光晶体内部冷却结构介绍第39-41页
     ·分光晶体内部冷却结构的重新设计第41-42页
   ·两种结构的数值模拟分析第42-50页
     ·ANSYS Workbench 有限元分析软件简介第42-43页
     ·两种冷却结构模型的有限元分析第43-50页
   ·分光晶体新型内部冷却结构的加工、抛光及粘接第50-54页
     ·晶体内部新型冷却结构的加工第50-51页
     ·上晶体与下晶体的清洗与粘接第51-54页
   ·小结第54-55页
第五章 总结与展望第55-59页
   ·论文完成的工作第55-56页
   ·创新点第56页
   ·展望第56-59页
参考文献第59-63页
攻读硕士期间发表的文章第63-65页
致谢第65页

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