| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| Contents | 第9-11页 |
| 图清单 | 第11-14页 |
| 表清单 | 第14-15页 |
| 1 绪论 | 第15-27页 |
| ·课题背景及意义 | 第15-16页 |
| ·TiO_2和 Ta_2O_5的结构 | 第16-17页 |
| ·TiO_2和 Ta_2O_5的应用概述 | 第17-19页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第19-24页 |
| ·激光与材料作用损伤机理 | 第24-26页 |
| ·本论文的研究意义和内容 | 第26-27页 |
| 2 相关测试方法 | 第27-33页 |
| ·离子色谱 | 第27页 |
| ·Zeta 电位分析 | 第27-28页 |
| ·原子力显微镜测试 | 第28页 |
| ·弱吸收测试 | 第28-30页 |
| ·激光损伤阈值的测试方法 | 第30-33页 |
| 3 不同添加剂对 TiO_2薄膜性质的影响 | 第33-39页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·试验试剂和设备 | 第33-34页 |
| ·薄膜样品的制备 | 第34页 |
| ·结果与讨论 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 不同水解催化剂对 Ta_2O_5溶胶和薄膜的影响 | 第39-50页 |
| ·引言 | 第39-40页 |
| ·试验试剂和设备 | 第40-41页 |
| ·Ta_2O_5溶胶和薄膜的制备 | 第41页 |
| ·样品测试结果与讨论 | 第41-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 原料配比和薄膜制备环境对溶胶和薄膜性质的影响 | 第50-58页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·实验样品制备 | 第50页 |
| ·乙酰丙酮含量对溶胶和薄膜性质的影响 | 第50-53页 |
| ·浓硝酸含量对溶胶的影响 | 第53-54页 |
| ·H_2O_2含量对溶胶的影响 | 第54-55页 |
| ·空气湿度和温度对薄膜性质的影响 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 6 薄膜厚度对其性质的影响 | 第58-61页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·实验样品制备 | 第58页 |
| ·实验结果与分析 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 7 退火对薄膜性质的影响 | 第61-68页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·实验样品制备 | 第62页 |
| ·实验结果与分析 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 8 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 作者简历 | 第76-78页 |
| 学位论文数据集 | 第78页 |