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毫秒激光辐照半导体材料的热力效应数值模拟

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
第一章 绪论第7-13页
   ·引言第7页
   ·研究背景第7-11页
     ·研究概况第7页
     ·国外研究现状 #I第7-9页
     ·国内研究现状第9-11页
   ·激光与物质相互作用的数值模拟方法第11页
   ·本文的工作介绍第11-13页
第二章 毫秒激光辐照金属薄膜与半导体材料双层系统的解析方法模拟第13-25页
   ·毫秒激光辐照双层系统的解析方法推导第13-20页
   ·薄膜吸收系数对温度的影响第20-25页
第三章 毫秒激光辐照半导体材料的数值模拟第25-48页
   ·毫秒激光辐照半导体材料,温度随时间和空间变化的数值模拟第25-37页
     ·空间轴对称模型第25-26页
     ·热物理参数第26-27页
     ·在轴对称模型下的热传导方程第27页
     ·处理相变问题的等效比热容法第27-29页
     ·热传导方程的有限元格式与瞬态求解方法第29-31页
     ·网格的剖分划分方法第31页
     ·数值模拟结果与分析第31-37页
   ·毫秒激光辐照半导体材料,热应力随空间变化的数值模拟第37-48页
     ·平衡微分方程第37-38页
     ·位移插值函数第38-40页
     ·单元的应变与应力第40-41页
     ·应力、应变、初应变、节点位移间的相互关系第41页
     ·单元的节点力及其与节点位移的关系第41-42页
     ·单元刚度矩阵与整体刚度矩阵第42-43页
     ·数值模拟结果与分析第43-48页
总结第48-49页
致谢第49-50页
参考文献第50页

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