| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-18页 |
| ·VCSEL的发展 | 第7-8页 |
| ·VCSEL的应用 | 第8-12页 |
| ·VCSEL的基本结构 | 第12-16页 |
| ·本论文研究的内容及意义 | 第16-18页 |
| 第二章 VCSEL的基本理论 | 第18-28页 |
| ·半导体激光器基本知识 | 第18-20页 |
| ·VCSEL的理论分析 | 第20-22页 |
| ·DBR反射镜的设计 | 第22-25页 |
| ·VCSEL的偏振特性 | 第25-28页 |
| 第三章 VCSEL的制备工艺研究 | 第28-39页 |
| ·外延生长技术介绍 | 第28-30页 |
| ·外延片的清洗 | 第30-31页 |
| ·光刻 | 第31-32页 |
| ·刻蚀和氧化工艺 | 第32-34页 |
| ·欧姆接触 | 第34-35页 |
| ·椭圆形VCSEL的制备 | 第35-39页 |
| 第四章 椭圆形VCSEL测试与分析 | 第39-44页 |
| ·器件的光电性能分析 | 第39-40页 |
| ·器件的偏振特性 | 第40-44页 |
| 结论 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-48页 |
| 致谢 | 第48页 |