| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-27页 |
| ·铁电材料的概念介绍和基本特征 | 第12-16页 |
| ·铁电材料的基本概念 | 第12-13页 |
| ·铁电材料的基本特征 | 第13-16页 |
| ·铁电薄膜的研究进展 | 第16-19页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第16-18页 |
| ·铁电薄膜的性质 | 第18页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第18-19页 |
| ·无铅KNN基铁电材料的研究进展 | 第19-25页 |
| ·KNN基铁电材料的基本性质及掺杂改性 | 第20-22页 |
| ·KNN基铁电薄膜的研究进展 | 第22-24页 |
| ·KNN基纳米铁电材料的研究进展 | 第24-25页 |
| ·本课题的研究目的和内容 | 第25-27页 |
| ·选题背景 | 第25页 |
| ·研究内容 | 第25-27页 |
| 2 KNN基铁电薄膜的制备及表征方法 | 第27-36页 |
| ·脉冲激光沉积技术 | 第27-29页 |
| ·脉冲激光沉积的原理 | 第27-28页 |
| ·脉冲激光沉积设备简介 | 第28-29页 |
| ·KNN基薄膜的制备工艺 | 第29-33页 |
| ·NKLNST陶瓷靶材的制备 | 第29-30页 |
| ·NKLNST薄膜的沉积过程 | 第30-33页 |
| ·KNN基铁电薄膜的表征手段 | 第33-36页 |
| ·X射线衍射 | 第33页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第33-34页 |
| ·X射线能谱仪 | 第34页 |
| ·透射电子显微镜 | 第34-35页 |
| ·铁电参数测试仪 | 第35-36页 |
| 3 K、Na过量靶材对KNN基铁电薄膜结构和性能的影响 | 第36-41页 |
| ·样品的制备 | 第36-37页 |
| ·实验结果与讨论 | 第37-40页 |
| ·不同K、Na过量的靶材对NKLNST薄膜结构的影响 | 第37页 |
| ·不同K、Na过量的靶材对NKLNST薄膜成分的影响 | 第37-38页 |
| ·不同K、Na过量的靶材对NKLNST薄膜铁电性能的影响 | 第38-39页 |
| ·不同K、Na过量的靶材对NKLNST薄膜漏电流的影响 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 PLD工艺条件对KNN基铁电薄膜结构和性能的影响 | 第41-50页 |
| ·样品的制备 | 第41-42页 |
| ·沉积氧压对NKLNST薄膜结构、形貌和性能的影响 | 第42-46页 |
| ·沉积氧压对NKLNST薄膜结构的影响 | 第42-43页 |
| ·沉积氧压对NKLNST薄膜成分的影响 | 第43页 |
| ·沉积氧压对NKLNST薄膜形貌的影响 | 第43-44页 |
| ·沉积氧压对NKLNST薄膜铁电性能的影响 | 第44-45页 |
| ·沉积氧压对NKLNST薄膜漏电流的影响 | 第45-46页 |
| ·衬底温度对NKLNST薄膜结构、形貌和性能的影响 | 第46-49页 |
| ·衬底温度对NKLNST薄膜结构的影响 | 第46-47页 |
| ·衬底温度对NKLNST薄膜形貌的影响 | 第47-48页 |
| ·衬底温度对NKLNST薄膜铁电性能的影响 | 第48页 |
| ·衬底温度对NKLNST薄膜漏电流的影响 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 工艺条件对KNN基纳米材料形貌的控制 | 第50-63页 |
| ·样品的制备 | 第50-51页 |
| ·沉积氧压对NKLNST纳米管形貌、结构和性能的影响 | 第51-56页 |
| ·沉积氧压对NKLNST纳米管形貌的影响 | 第51-52页 |
| ·沉积氧压对NKLNST纳米管成分的影响 | 第52页 |
| ·沉积氧压对NKLNST纳米管微结构的影响 | 第52-54页 |
| ·沉积氧压对NKLNST纳米管结晶结构的影响 | 第54-55页 |
| ·沉积氧压对NKLNST纳米管电学性能的影响 | 第55-56页 |
| ·衬底温度对NKLNST纳米材料形貌和结构的影响 | 第56-58页 |
| ·衬底温度对NKLNST纳米材料形貌的影响 | 第56-57页 |
| ·衬底温度对NKLNST纳米材料结晶结构的影响 | 第57-58页 |
| ·气氛退火对NKLNST纳米材料形貌、结构和性能的影响 | 第58-62页 |
| ·气氛退火对NKLNST纳米材料形貌的影响 | 第58-59页 |
| ·气氛退火对NKLNST纳米材料成分的影响 | 第59页 |
| ·气氛退火对NKLNST纳米材料结晶结构的影响 | 第59-60页 |
| ·气氛退火对NKLNST纳米材料铁电性能的影响 | 第60-61页 |
| ·气氛退火对NKLNST纳米材料漏电流的影响 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 附录 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
