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M型钡铁氧体薄膜制备工艺研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-25页
   ·M 型钡铁氧体(结构)第10-12页
     ·BaM 铁氧体晶体结构第10页
     ·BaM 铁氧体绝对零度时理论饱和磁化强度计算第10-12页
   ·特点优势第12-13页
   ·应用背景及研究意义第13-15页
   ·制备技术第15-19页
   ·研究现状第19-24页
     ·制备工艺现状第19-21页
     ·基底及缓冲层研究现状第21-22页
     ·掺杂取代研究第22-24页
   ·论文主要内容及结构安排第24-25页
第二章 磁控溅射法制备 M 型钡铁氧体薄膜第25-42页
   ·M 型钡铁氧体薄膜制备及性能表征第25页
   ·溅射气压对 BaM 薄膜性能的影响第25-28页
   ·溅射功率对 BaM 薄膜性能的影响第28-33页
     ·薄膜样品制备第28-29页
     ·结果与讨论第29-32页
     ·本节结论第32-33页
   ·退火温度对 BaM 膜性能的影响第33-36页
   ·基底温度对 BaM 薄膜性能的影响第36-41页
     ·薄膜制备与测试第36-37页
     ·结果及讨论第37-40页
     ·本节结论第40-41页
   ·本章小结第41-42页
第三章 薄膜厚度对 BaM 薄膜性能的影响第42-52页
   ·薄膜制备与测试第42页
   ·结果及讨论第42-50页
     ·薄膜厚度对 BaM 薄膜取向生长的影响第42-43页
     ·薄膜厚度对 BaM 薄膜磁性能的影响第43-50页
   ·本章小结第50-52页
第四章 不同基底及缓冲层对 BaM 薄膜取向生长的影响第52-66页
   ·薄膜制备与测试第52-53页
   ·结果及讨论第53-65页
     ·不同基底类型对 BaM 薄膜取向生长及磁性能的影响第53-56页
     ·不同缓冲层对 BaM 薄膜取向生长及其磁性能的影响第56-60页
     ·基底温度对 BaM 薄膜取向生长的影响第60-65页
   ·本章小结第65-66页
第五章 结论第66-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-73页
攻硕期间取得的研究成果第73-74页

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