| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究进展 | 第9-13页 |
| ·石英晶体压力传感器发展趋势 | 第13-14页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 石英晶体压电效应及薄圆片径向振动理论 | 第16-29页 |
| ·压电效应 | 第16-18页 |
| ·压电效应简介 | 第16-17页 |
| ·压电方程 | 第17-18页 |
| ·石英晶体 | 第18-25页 |
| ·石英晶体简介 | 第18-19页 |
| ·石英晶体的压电效应 | 第19-23页 |
| ·石英晶体产生压电效应的机理 | 第23-25页 |
| ·压电材料的主要特性 | 第25-26页 |
| ·薄圆片压电振子的径向振动理论 | 第26-28页 |
| ·薄圆片压电振子的压电方程组 | 第26-27页 |
| ·薄圆片压电振子的振动方程 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 等径向结构压力传感器的设计与仿真 | 第29-44页 |
| ·COMSOL Multiphysics 软件介绍 | 第29-30页 |
| ·石英晶体等径向力结构的设计与仿真 | 第30-36页 |
| ·三维模型的构建 | 第30-31页 |
| ·石英晶体等径向力结构的性能分析 | 第31-36页 |
| ·石英晶体谐振器激励电路的设计与仿真 | 第36-43页 |
| ·正弦波振荡电路 | 第36-38页 |
| ·石英晶体的等效电路与电抗频率特性 | 第38-40页 |
| ·石英晶体谐振器振荡电路 | 第40-41页 |
| ·石英晶体谐振器激励电路 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 压力传感器的实现与测试 | 第44-52页 |
| ·等径向力结构的制备 | 第44-46页 |
| ·尼龙材料 | 第44-45页 |
| ·结构加工 | 第45-46页 |
| ·石英监控晶片 | 第46-47页 |
| ·振荡电路 | 第47-48页 |
| ·仪器介绍 | 第48-50页 |
| ·等径向力结构压力传感器的测试 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读学位期间完成项目 | 第60页 |