薄膜材料热物性及其测试新装置的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 主要符号说明 | 第13-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-46页 |
| ·热物性测试概述 | 第15-18页 |
| ·热物性学 | 第15-17页 |
| ·热物性测试的发展和现状 | 第17-18页 |
| ·薄膜材料热导率测试现状 | 第18-40页 |
| ·薄膜热导率研究概述 | 第18-25页 |
| ·尺度效应 | 第20-21页 |
| ·晶粒尺寸的影响 | 第21-23页 |
| ·淀积方法的影响 | 第23-24页 |
| ·温度的影响 | 第24-25页 |
| ·各向异性 | 第25页 |
| ·薄膜热导率测试研究概述 | 第25-39页 |
| ·测试方法小结 | 第39-40页 |
| ·激光闪光法及其发展现状 | 第40-44页 |
| ·激光闪光法原理 | 第40-42页 |
| ·激光闪光法的发展 | 第42-44页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第44-46页 |
| 第二章 多功能测量装置的研制 | 第46-62页 |
| ·引言 | 第46-47页 |
| ·热扩散率测量系统 | 第47-54页 |
| ·系统共用平台 | 第47-49页 |
| ·真空系统 | 第47-48页 |
| ·加热炉、液氮炉及控测温系统 | 第48页 |
| ·测试自动化系统 | 第48-49页 |
| ·主要部件 | 第49-54页 |
| ·设计考虑 | 第49-50页 |
| ·Nd:YAG激光器 | 第50页 |
| ·MCT红外探测器 | 第50-52页 |
| ·红外光学放大系统 | 第52-53页 |
| ·采集和处理系统 | 第53-54页 |
| ·热膨胀测量系统 | 第54-57页 |
| ·测试原理 | 第54-55页 |
| ·主要部件 | 第55-57页 |
| ·试样架系统 | 第55页 |
| ·CCD及光学放大系统 | 第55-56页 |
| ·采集和处理 | 第56-57页 |
| ·装置校验和标样考核 | 第57-61页 |
| ·热扩散率测量准确性分析 | 第57-59页 |
| ·标样考核 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第三章 聚酰亚胺复合薄膜热物性研究 | 第62-82页 |
| ·概述 | 第62-64页 |
| ·聚酰亚胺复合SiO_2薄膜 | 第64-78页 |
| ·试样制备和表征 | 第64-66页 |
| ·测量方法 | 第66-72页 |
| ·半透明材料热扩散率 | 第66-71页 |
| ·比热 | 第71-72页 |
| ·复合薄膜热导率 | 第72-77页 |
| ·热扩散率和热导率 | 第72-74页 |
| ·添加量对热导率的影响 | 第74-77页 |
| ·复合薄膜热膨胀系数 | 第77-78页 |
| ·聚酰亚胺渗碳薄膜 | 第78-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第四章 阳极氧化铝薄膜热导率研究 | 第82-92页 |
| ·概述 | 第82-83页 |
| ·试样制备和表征 | 第83-85页 |
| ·双层测量模型 | 第85-87页 |
| ·阳极氧化铝膜热导率 | 第87-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第五章 聚乙烯阵列热导率研究 | 第92-102页 |
| ·概述 | 第92-93页 |
| ·阵列制备与表征 | 第93-96页 |
| ·低密度聚乙烯阵列 | 第93-94页 |
| ·高密度聚乙烯阵列 | 第94-96页 |
| ·阵列热导率结果 | 第96-101页 |
| ·双层测量方法 | 第96-97页 |
| ·低密度聚乙烯阵列 | 第97-99页 |
| ·高密度聚乙烯阵列 | 第99-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 第六章 全文总结 | 第102-104页 |
| ·主要结论 | 第102-103页 |
| ·主要创新点 | 第103-104页 |
| 参考文献 | 第104-114页 |
| 附录一 红外系统性能估算 | 第114-117页 |
| 附录二 最小热导率计算Matlab程序 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
| 攻读博士学位期间发表论文 | 第119-120页 |
