基于白光干涉的触针式表面粗糙度测量技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 概论 | 第9-15页 |
| ·课题的研究意义和目的 | 第9-10页 |
| ·表面测量技术的发展概况 | 第10-13页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 白光干涉触针式测量理论及方法研究 | 第15-29页 |
| ·白光干涉测长原理 | 第15-18页 |
| ·原子力探针测量基本理论 | 第18-22页 |
| ·金刚石触针测量基本理论 | 第22-24页 |
| ·零级条纹识别方法研究 | 第24-27页 |
| ·像元定标方法研究 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 白光干涉触针式测量系统设计 | 第29-41页 |
| ·测量系统总体设计 | 第29-31页 |
| ·显微干涉系统 | 第31-32页 |
| ·原子力探针测头 | 第32-37页 |
| ·金刚石触针测头 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 扫描系统设计 | 第41-49页 |
| ·扫描系统总体设计 | 第41-42页 |
| ·垂直扫描器 | 第42-44页 |
| ·水平扫描载物台 | 第44-46页 |
| ·激光干涉仪 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 程序设计及测量模式 | 第49-55页 |
| ·程序功能结构 | 第49-50页 |
| ·信号调试模块 | 第50页 |
| ·原子力探针测量 | 第50-53页 |
| ·金刚石触针测量 | 第53页 |
| ·分析与评定 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 6 实验结果及分析 | 第55-63页 |
| ·原子力探针测量性能测试与分析 | 第55-57页 |
| ·金刚石触针测量性能测试与分析 | 第57-60页 |
| ·测量实例 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 7 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·全文总结 | 第63页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表学术论文目录 | 第70页 |
