摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-7页 |
目录 | 第7-10页 |
第一章 绪论 | 第10-26页 |
·课题研究的背景及意义 | 第10-12页 |
·非球面的检测方法 | 第12-21页 |
·面形轮廓测量 | 第13-16页 |
·几何光线法 | 第16-19页 |
·干涉测量法 | 第19-21页 |
·本文主要研究内容 | 第21-22页 |
参考文献 | 第22-26页 |
第二章 理论基础 | 第26-41页 |
·初级像差理论 | 第26-30页 |
·波像差级数展开多项式和 Seidel 像差 | 第26-28页 |
·Seidel 像差系数的 PW 表示式 | 第28-29页 |
·PW 初始结构参数的求解 | 第29-30页 |
·Zernike 多项式展开理论 | 第30-38页 |
·Zernike 多项式 | 第30-32页 |
·波像差的出瞳变换关系 | 第32-37页 |
·波前绕自身几何中心旋转的变换关系 | 第37-38页 |
·本章结论 | 第38页 |
参考文献 | 第38-41页 |
第三章 补偿法检测非球面 | 第41-72页 |
·补偿器的历史 | 第41-44页 |
·Offner 补偿器的设计 | 第44-50页 |
·Offner 补偿器初始结构设计理论 | 第44-48页 |
·Offner 补偿器的结构参数分析 | 第48-50页 |
·无光焦度补偿器的设计 | 第50-54页 |
·无光焦度补偿器的初始结构设计理论 | 第50-52页 |
·无光焦度补偿器的结构参数分析 | 第52-54页 |
·补偿器设计的实例 | 第54-61页 |
·补偿器的精度分析 | 第61-68页 |
·补偿器的制造和装配公差分析 | 第61-66页 |
·补偿器的安装偏心误差分析 | 第66-68页 |
·环境温度分析 | 第68页 |
·本章结论 | 第68-69页 |
参考文献 | 第69-72页 |
第四章 计算全息法检测非球面 | 第72-89页 |
·全息的原理 | 第72-74页 |
·波前的记录 | 第72-73页 |
·波前再现 | 第73-74页 |
·全息法检测轴对称非球面 | 第74-78页 |
·计算全息法检测轴对称非球面镜的原理 | 第74-75页 |
·计算全息检测非球面的对准 | 第75-76页 |
·全息法检测轴对称非球面镜的设计实例 | 第76-78页 |
·单块离轴非球面镜的检测 | 第78-86页 |
·离轴非球面镜的非球面度 | 第78-81页 |
·单个离轴非球面镜的补偿器设计 | 第81-82页 |
·单个离轴非球面镜补偿器设计的实例 | 第82-86页 |
·本章结论 | 第86-87页 |
参考文献 | 第87-89页 |
第五章 离轴非球面镜的离轴量控制精度和自旋角度误差分析 | 第89-99页 |
·离轴非球面镜非球面度的 Zernike 多项式表示 | 第89-91页 |
·离轴非球面镜的离轴量控制精度分析 | 第91-95页 |
·离轴量误差与视场的关系 | 第91-94页 |
·离轴量误差的仿真分析 | 第94-95页 |
·离轴非球面镜的自旋角度误差分析 | 第95-97页 |
·离轴非球面的自旋角度误差引入的系统波像差 | 第95-97页 |
·离轴非球面自旋角度误差的仿真分析 | 第97页 |
·本章结论 | 第97-98页 |
参考文献 | 第98-99页 |
第六章 离轴非球面镜检测光路的调整 | 第99-129页 |
·单个光学表面偏心对光学系统波像差的影响 | 第100-101页 |
·补偿法检测离轴非球面镜的调整误差分析 | 第101-117页 |
·轴对称非球面镜调整误差引入的检测系统波像差 | 第101-105页 |
·离轴非球面镜调整误差引入的检测系统波像差 | 第105-107页 |
·调整误差分离的数学模型 | 第107-108页 |
·调整误差分离的计算机仿真分析 | 第108-111页 |
·补偿法检测离轴非球面镜检测光路的调整实例 | 第111-117页 |
·无像差点法检测非球面的失调误差分析 | 第117-124页 |
·轴对称非球面镜调整误差引入的检测系统波像差 | 第117-119页 |
·离轴非球面镜调整误差引入的检测系统波像差 | 第119-120页 |
·调整误差分离的数学模型 | 第120-121页 |
·调整误差分离的计算机仿真分析 | 第121-122页 |
·无像差点法检测离轴非球面镜检测光路的调整实例 | 第122-124页 |
·非球面检测中注意的事项 | 第124-127页 |
·本章结论 | 第127-128页 |
参考文献 | 第128-129页 |
第七章 总结与展望 | 第129-132页 |
论文及获奖情况 | 第132-133页 |
致谢 | 第133页 |