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离轴非球面反射镜检测技术的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-10页
第一章 绪论第10-26页
   ·课题研究的背景及意义第10-12页
   ·非球面的检测方法第12-21页
     ·面形轮廓测量第13-16页
     ·几何光线法第16-19页
     ·干涉测量法第19-21页
   ·本文主要研究内容第21-22页
 参考文献第22-26页
第二章 理论基础第26-41页
   ·初级像差理论第26-30页
     ·波像差级数展开多项式和 Seidel 像差第26-28页
     ·Seidel 像差系数的 PW 表示式第28-29页
     ·PW 初始结构参数的求解第29-30页
   ·Zernike 多项式展开理论第30-38页
     ·Zernike 多项式第30-32页
     ·波像差的出瞳变换关系第32-37页
     ·波前绕自身几何中心旋转的变换关系第37-38页
   ·本章结论第38页
 参考文献第38-41页
第三章 补偿法检测非球面第41-72页
   ·补偿器的历史第41-44页
   ·Offner 补偿器的设计第44-50页
     ·Offner 补偿器初始结构设计理论第44-48页
     ·Offner 补偿器的结构参数分析第48-50页
   ·无光焦度补偿器的设计第50-54页
     ·无光焦度补偿器的初始结构设计理论第50-52页
     ·无光焦度补偿器的结构参数分析第52-54页
   ·补偿器设计的实例第54-61页
   ·补偿器的精度分析第61-68页
     ·补偿器的制造和装配公差分析第61-66页
     ·补偿器的安装偏心误差分析第66-68页
     ·环境温度分析第68页
   ·本章结论第68-69页
 参考文献第69-72页
第四章 计算全息法检测非球面第72-89页
   ·全息的原理第72-74页
     ·波前的记录第72-73页
     ·波前再现第73-74页
   ·全息法检测轴对称非球面第74-78页
     ·计算全息法检测轴对称非球面镜的原理第74-75页
     ·计算全息检测非球面的对准第75-76页
     ·全息法检测轴对称非球面镜的设计实例第76-78页
   ·单块离轴非球面镜的检测第78-86页
     ·离轴非球面镜的非球面度第78-81页
     ·单个离轴非球面镜的补偿器设计第81-82页
     ·单个离轴非球面镜补偿器设计的实例第82-86页
   ·本章结论第86-87页
 参考文献第87-89页
第五章 离轴非球面镜的离轴量控制精度和自旋角度误差分析第89-99页
   ·离轴非球面镜非球面度的 Zernike 多项式表示第89-91页
   ·离轴非球面镜的离轴量控制精度分析第91-95页
     ·离轴量误差与视场的关系第91-94页
     ·离轴量误差的仿真分析第94-95页
   ·离轴非球面镜的自旋角度误差分析第95-97页
     ·离轴非球面的自旋角度误差引入的系统波像差第95-97页
     ·离轴非球面自旋角度误差的仿真分析第97页
   ·本章结论第97-98页
 参考文献第98-99页
第六章 离轴非球面镜检测光路的调整第99-129页
   ·单个光学表面偏心对光学系统波像差的影响第100-101页
   ·补偿法检测离轴非球面镜的调整误差分析第101-117页
     ·轴对称非球面镜调整误差引入的检测系统波像差第101-105页
     ·离轴非球面镜调整误差引入的检测系统波像差第105-107页
     ·调整误差分离的数学模型第107-108页
     ·调整误差分离的计算机仿真分析第108-111页
     ·补偿法检测离轴非球面镜检测光路的调整实例第111-117页
   ·无像差点法检测非球面的失调误差分析第117-124页
     ·轴对称非球面镜调整误差引入的检测系统波像差第117-119页
     ·离轴非球面镜调整误差引入的检测系统波像差第119-120页
     ·调整误差分离的数学模型第120-121页
     ·调整误差分离的计算机仿真分析第121-122页
     ·无像差点法检测离轴非球面镜检测光路的调整实例第122-124页
   ·非球面检测中注意的事项第124-127页
   ·本章结论第127-128页
 参考文献第128-129页
第七章 总结与展望第129-132页
论文及获奖情况第132-133页
致谢第133页

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