| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·介质阻隔材料 | 第10-16页 |
| ·氧化硅薄膜的制备及发展 | 第16-21页 |
| ·本课题的研究内容与意义 | 第21-24页 |
| 第二章 实验装置及表征手段 | 第24-34页 |
| ·微波ECR装置及其工作原理 | 第24-29页 |
| ·薄膜表征手段 | 第29-34页 |
| 第三章 氧化硅阻隔层的制备与薄膜检测方法 | 第34-40页 |
| ·PET样品的预处理 | 第34-35页 |
| ·实验具体操作过程 | 第35-36页 |
| ·薄膜检测方法 | 第36-40页 |
| 第四章 结果与讨论 | 第40-56页 |
| ·氧化硅薄膜的沉积速度 | 第40页 |
| ·傅里叶红外图谱及结果分析 | 第40-43页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第43-46页 |
| ·薄膜接触角分析 | 第46-48页 |
| ·薄膜透明性分析 | 第48页 |
| ·不同工艺条件下薄膜拉伸性能比较 | 第48-51页 |
| ·不同工艺参数对薄膜阻隔性能的影响 | 第51-56页 |
| 第五章 论文总结与展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-66页 |
| 硕士期间发表的相关论文 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |