纳秒脉冲微细电化学加工的工艺研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-22页 |
| ·微细特种加工技术 | 第7-10页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第7-8页 |
| ·微细超声加工 | 第8页 |
| ·微细激光加工 | 第8-9页 |
| ·电子束加工 | 第9-10页 |
| ·微细电解加工 | 第10页 |
| ·微细电化学加工技术 | 第10-15页 |
| ·微细电铸技术 | 第10-11页 |
| ·EFAB 技术 | 第11-12页 |
| ·CELT 技术 | 第12页 |
| ·脉冲微细电解加工 | 第12-14页 |
| ·其它微细电解加工 | 第14-15页 |
| ·微细电化学加工国内外进展 | 第15-21页 |
| ·国外微细电化学加工进展 | 第16-19页 |
| ·国内微细电化学加工进展 | 第19-21页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第21-22页 |
| 2 微细电化学加工原理探究 | 第22-32页 |
| ·电解加工的理论基础 | 第22页 |
| ·微细电化学加工的机理研究 | 第22-30页 |
| ·电极反应过程 | 第22-24页 |
| ·电极暂态过程 | 第24-27页 |
| ·电化学极化 | 第27-28页 |
| ·电极过电位 | 第28-30页 |
| ·电解加工中的蚀除量 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 3 纳秒级脉冲电源制作 | 第32-40页 |
| ·电化学加工电源的发展 | 第32-33页 |
| ·纳秒级脉冲电化学加工电源设计 | 第33-39页 |
| ·纳秒脉冲电源的设计方案 | 第33-34页 |
| ·CPLD 以及脉冲控制电路 | 第34-36页 |
| ·MOSFET 开关电路 | 第36-38页 |
| ·加工电压的调节电路 | 第38-39页 |
| ·纳秒脉冲电源设计的特点 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 微细电化学微孔加工工艺研究 | 第40-53页 |
| ·微细电化学加工微孔试验的研究 | 第40-41页 |
| ·微细电解加工工具电极的制作 | 第41-44页 |
| ·电化学加工微小孔 | 第44-49页 |
| ·微细电化学加工工艺研究 | 第49-52页 |
| ·工具电极对加工效果的影响 | 第49-50页 |
| ·加工电源对加工效果的影响 | 第50-51页 |
| ·电解液对加工的影响 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 结论与展望 | 第53-55页 |
| ·本文的主要结论 | 第53页 |
| ·对本研究工作的展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第58-60页 |
