基于模型的微纳深沟槽结构红外反射谱测量方法研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题概述 | 第10-12页 |
| ·深沟槽结构测量技术研究现状及其发展趋势 | 第12-18页 |
| ·本文主要研究工作 | 第18-20页 |
| 2 高深宽比微纳深沟槽结构光学特性建模理论与方法 | 第20-37页 |
| ·引言 | 第20-21页 |
| ·微纳深沟槽结构光学反射模型的建立 | 第21-23页 |
| ·修正等效介质理论算法 | 第23-30页 |
| ·深沟槽结构等效建模仿真分析 | 第30-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 3 典型微纳深沟槽结构反射特性仿真分析 | 第37-48页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·斜壁深沟槽结构反射特性 | 第38-41页 |
| ·瓶状深沟槽结构反射特性 | 第41-44页 |
| ·填充深沟槽结构反射特性 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 4 微纳深沟槽结构参数快速提取方法 | 第48-62页 |
| ·引言 | 第48-49页 |
| ·ASA结合LM算法沟槽参数快速提取方法 | 第49-53页 |
| ·ANN结合LM算法沟槽参数快速提取方法 | 第53-56页 |
| ·参数快速提取方法仿真分析 | 第56-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 测量系统研制及典型沟槽结构测量实验研究 | 第62-85页 |
| ·引言 | 第62-63页 |
| ·系统光路设计与分析 | 第63-71页 |
| ·系统主要硬件选型与分析 | 第71-74页 |
| ·系统软件设计与开发 | 第74-77页 |
| ·典型微纳深沟槽结构测量实验 | 第77-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 6 总结与展望 | 第85-88页 |
| ·全文总结 | 第85-86页 |
| ·研究展望 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-97页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的学术论文 | 第97-98页 |
| 附录2 攻读学位期间申请的国家发明专利 | 第98页 |
