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碳纳米管植入金属电极表面的方法及其应用技术研究

摘要第1-9页
ABSTRACT第9-15页
第一章 绪论第15-39页
   ·引言第15-16页
   ·碳纳米管简介第16-20页
     ·碳纳米管的基本结构第16-18页
     ·碳纳米管的发现历史和制备方法第18-19页
     ·碳纳米管的性能和应用第19-20页
   ·碳纳米管场发射介绍第20-29页
     ·电子发射及其机理第20-22页
     ·场致发射材料第22-25页
     ·碳纳米管场发射阴极的应用第25-29页
   ·现有的碳纳米管植入金属表面的方法第29-36页
   ·本课题的研究意义和研究内容第36-39页
     ·研究意义第36-37页
     ·研究内容第37-39页
第二章 碳纳米管植入金属电极表面的垂直植布工艺研究第39-63页
   ·聚合物基碳纳米管垂直植布技术概述第39-41页
   ·聚合物基碳纳米管垂直植布技术具体过程第41-59页
     ·聚合物介质的选择第41-43页
     ·碳纳米管种类的选择第43-45页
     ·CNT/光刻胶复合薄膜制备工艺研究第45-52页
     ·CNT/光刻胶复合薄膜后处理第52-57页
     ·制备场致发射阴极第57-59页
   ·植布工艺优化-反面垂直植布工艺第59-62页
 本章小结第62-63页
第三章 植布法在场发射阴极上的应用及其性能研究第63-77页
   ·场发射性能测试装置第63-64页
   ·植布法单元工艺在场发射阴极制备上的最优化应用第64-75页
     ·球磨工艺对场致发射阴极样品的影响第64-67页
     ·刻蚀工艺对场致发射阴极性能的影响第67-70页
     ·除气工艺对场致发射阴极样品的影响第70页
     ·CNT/光刻胶配比对场致发射阴极样品的影响第70-73页
     ·去胶工艺对场致发射阴极样品的影响第73-75页
     ·碳纳米管植布在金属基表面的特效图第75页
   ·本章小结第75-77页
第四章 碳纳米管双端桥接金属敏感电极的制备及其性能第77-86页
   ·引言第77页
   ·碳纳米管双端桥接金属敏感电极的制备第77-81页
     ·聚酰亚胺基碳纳米管双端桥接金属电极的制备工艺第77-79页
     ·光刻胶基碳纳米管双端桥接金属电极的制备工艺第79页
     ·利用碳纳米管分散液制备双端桥接金属电极的制备工艺第79-81页
   ·碳纳米管双端桥接金属电极的性能第81-85页
     ·扫描电镜图片第81-82页
     ·器件测试第82-85页
   ·本章小结第85-86页
第五章 总结与展望第86-89页
   ·主要研究内容和结论第86-87页
   ·主要创新点第87-88页
   ·展望与下一步研究设想第88-89页
参考文献第89-94页
致谢第94-95页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文第95页

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