微小平面可重复定位的自动调整装置研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-21页 |
| ·本课题的研究意义 | 第14-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-20页 |
| ·金刚石加工设备研究现状 | 第15-16页 |
| ·小平面重复定位检测技术研究情况 | 第16-19页 |
| ·Z-tils空间平台研究现状 | 第19页 |
| ·存在问题 | 第19-20页 |
| ·课题的来源与主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·课题来源 | 第20页 |
| ·课题研究的主要目标 | 第20页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第20-21页 |
| 第二章 自动调整装置总体设计及组成 | 第21-24页 |
| ·自动调整装置的总体设计 | 第21-22页 |
| ·自动调整装置的组成和其作用 | 第22-24页 |
| ·微小平面重复定位检测装置 | 第22页 |
| ·定位信号采集分析 | 第22页 |
| ·Z-tilts调整平台 | 第22-23页 |
| ·调整平台控制系统 | 第23-24页 |
| 第三章 微小平面重复定位检测装置的设计 | 第24-39页 |
| ·检测装置结构设计 | 第24-25页 |
| ·检测原理分析 | 第25-30页 |
| ·定位信号调理电路 | 第30-36页 |
| ·初步方案 | 第31-33页 |
| ·改进后方案 | 第33-36页 |
| ·定位信号采集电路 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 调整装置的结构设计及分析 | 第39-46页 |
| ·调整平台结构设计 | 第39-40页 |
| ·调整角度控制分析 | 第40-41页 |
| ·调整平台有限元分析 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 控制系统设计 | 第46-51页 |
| ·检测装置控制系统 | 第46页 |
| ·调整平台控制系统的设计 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第六章 自动调整装置可重复定位的初步实验 | 第51-62页 |
| ·检测装置的初步实验 | 第51-57页 |
| ·检测装置可行性实验 | 第51-54页 |
| ·定位信号自动检测实验 | 第54-57页 |
| ·调整装置驱动控制初步实验 | 第57-61页 |
| ·CMOS光斑检测系统设计 | 第57页 |
| ·驱动脉冲检测实验 | 第57-59页 |
| ·调整平台驱动控制实验 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 结论与展望 | 第62-63页 |
| 一、结论 | 第62页 |
| 二、展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 附录 | 第69-90页 |
