| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·微机电系统概述 | 第7-9页 |
| ·MEMS 的研究现状与应用 | 第9-10页 |
| ·MEMS 现状 | 第9-10页 |
| ·MEMS 技术的应用 | 第10页 |
| ·本文课题研究的内容和目标 | 第10-11页 |
| 第二章 MEMS 技术概要 | 第11-21页 |
| ·用于MEMS 的材料 | 第11-16页 |
| ·概况 | 第11页 |
| ·MEMS 与微电子的关系 | 第11-13页 |
| ·衬底材料的硅 | 第13-15页 |
| ·硅化合物 | 第15页 |
| ·石英 | 第15-16页 |
| ·聚合物 | 第16页 |
| ·MEMS 的加工制造技术 | 第16-19页 |
| ·概况 | 第16-17页 |
| ·体硅微制造 | 第17页 |
| ·表面微加工 | 第17-19页 |
| ·LIGA 工艺 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-21页 |
| 第三章 滤波器设计基础 | 第21-31页 |
| ·滤波器概述 | 第21-25页 |
| ·滤波器的基本概念 | 第21-22页 |
| ·滤波器的主要参数 | 第22-23页 |
| ·滤波器的传输函数 | 第23-25页 |
| ·滤波器的设计方法 | 第25-29页 |
| ·几种常见的滤波器设计方法 | 第25-27页 |
| ·用插入损耗法设计滤波器 | 第27页 |
| ·滤波器的结构形式 | 第27-29页 |
| ·如何发挥滤波器最佳性能 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第四章 微带传输线谐振腔的设计 | 第31-41页 |
| ·微带传输线 | 第31-32页 |
| ·微波传输线谐振腔 | 第32-39页 |
| ·谐振器的原理 | 第32-34页 |
| ·谐振器的类型 | 第34-35页 |
| ·微带线的损耗 | 第35-36页 |
| ·交指型微带线谐振器 | 第36页 |
| ·使用HFSS 软件计算谐振器的品质因数 | 第36-39页 |
| ·本章小节 | 第39-41页 |
| 第五章 基于MEMS 工艺的微带线滤波器的设计 | 第41-61页 |
| ·平行耦合线滤波器模型 | 第41-49页 |
| ·耦合线段的滤波器模型 | 第41-44页 |
| ·平行耦合微带线带通滤波器的设计 | 第44-49页 |
| ·基于 MEMS 工艺的平行耦合微带线滤波器的设计 | 第49-59页 |
| ·普通平行耦合微带线滤波器设计实例 | 第49-54页 |
| ·MEMS 工艺的耦合线带通滤波器的设计与建模 | 第54-57页 |
| ·MEMS 滤波器的工艺设计 | 第57-59页 |
| ·本章小节 | 第59-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 研究成果 | 第67-68页 |