| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·论文研究意义 | 第9页 |
| ·RTD 发展历史 | 第9-10页 |
| ·RTD 的应用现状 | 第10-13页 |
| 第二章 RTD 材料结构设计理论分析 | 第13-22页 |
| ·RTD 相关理论 | 第13-18页 |
| ·共振隧穿原理 | 第13-16页 |
| ·共振隧穿模型理论 | 第16-18页 |
| ·GaAs 材料的特性 | 第18-19页 |
| ·RTD 结构性能影响参数 | 第19-22页 |
| 第三章 RTD 层结构与传感器结构设计及其加工工艺 | 第22-36页 |
| ·RTD 层结构设计 | 第22-24页 |
| ·RTD 传感器结构设计及其加工工艺 | 第24-36页 |
| ·RTD 加工关键技术 | 第24-26页 |
| ·传感器结构设计及说明 | 第26-30页 |
| ·敏感单元设计 | 第30-31页 |
| ·RTD 加工工艺 | 第31-36页 |
| 第四章 RTD 测试实验及结果对比分析 | 第36-55页 |
| ·RTD 结构性能测试实验 | 第36-40页 |
| ·直流 I-V 特性测试实验 | 第36-38页 |
| ·发射极面积与性能关系测试实验 | 第38-40页 |
| ·RTD 结构稳定性测试实验 | 第40-49页 |
| ·温度特性测试实验 | 第40-44页 |
| ·串并联实验 | 第44-49页 |
| ·RTD 传感器性能测试实验 | 第49-55页 |
| ·电压输出灵敏度测试 | 第49-53页 |
| ·线性度测试实验 | 第53-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第55-56页 |
| ·展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 攻读硕士期间主要研究工作及所取得成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |