硅片调焦调平测量系统性能测试方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·引言 | 第8-11页 |
| ·课题来源 | 第11-12页 |
| ·论文主要内容 | 第12-13页 |
| 2 调焦调平测量系统介绍 | 第13-20页 |
| ·工作原理 | 第13页 |
| ·位置敏感探测器 | 第13-15页 |
| ·测量系统光学部分 | 第15页 |
| ·测量光斑的分布 | 第15-17页 |
| ·曝光场垂向位置信息 | 第17-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 3 测试需求分析及测试方案 | 第20-27页 |
| ·测试平台功能性能需求 | 第20页 |
| ·接口需求 | 第20-22页 |
| ·测量原理 | 第22-25页 |
| ·测试平台分析 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 4 详细系统结构 | 第27-34页 |
| ·整体结构 | 第27-28页 |
| ·测量系统 | 第28-29页 |
| ·运动系统 | 第29-31页 |
| ·减振系统 | 第31-32页 |
| ·环境控制系统 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 5 激光干涉仪测量系统 | 第34-45页 |
| ·基本光学原理 | 第34-36页 |
| ·工作原理 | 第36-39页 |
| ·误差补偿 | 第39-40页 |
| ·控制模型 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 6 控制系统 | 第45-54页 |
| ·硬件 | 第45-48页 |
| ·软件 | 第48-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 7 测试平台性能检测 | 第54-62页 |
| ·测量精度 | 第55-56页 |
| ·重复性运动精度 | 第56-58页 |
| ·环境测试 | 第58-59页 |
| ·振动性能检测 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 8 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·总结 | 第62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第68页 |
