垂直单向流洁净室气流的数值模拟与分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 引言 | 第11-17页 |
| ·生产环境控制与微电子工业发展的关系 | 第11-12页 |
| ·洁净室的应用与发展 | 第12-15页 |
| ·IC产品生产环境的发展 | 第12-13页 |
| ·洁净室技术的发展现状 | 第13-14页 |
| ·数值模拟应用在洁净室的发展 | 第14-15页 |
| ·本课题的研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 洁净室的原理及送风方式 | 第17-24页 |
| ·前言 | 第17页 |
| ·洁净室的原理 | 第17-21页 |
| ·乱流洁净室工作原理 | 第18页 |
| ·单向流洁净室原理 | 第18-19页 |
| ·辐流洁净室的原理 | 第19页 |
| ·单向流洁净室的特点 | 第19-20页 |
| ·洁净室的压力 | 第20-21页 |
| ·IC洁净室的送风方式 | 第21-23页 |
| ·集中送风方式 | 第21页 |
| ·隧道送风方式 | 第21-22页 |
| ·微循环方式(SMIF) | 第22页 |
| ·风机过滤单元方式 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 洁净室气流组织的影响因素 | 第24-29页 |
| ·前言 | 第24-25页 |
| ·气流组织的影响因素 | 第25-27页 |
| ·送风方式的影响 | 第25-26页 |
| ·洁净度不同的速度介面影响 | 第26页 |
| ·人和物的影响 | 第26页 |
| ·诱导现象 | 第26-27页 |
| ·模型 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第4章 洁净室气流数学模型理论和CFD方法 | 第29-44页 |
| ·前言 | 第29页 |
| ·数学模型 | 第29-35页 |
| ·模拟方法简介 | 第29-31页 |
| ·时均方程法三种模型介绍 | 第31-34页 |
| 1. 零方程模型 | 第31页 |
| 2. 一方程模型 | 第31-32页 |
| 3. 二方程模型 | 第32-34页 |
| ·高雷诺数k-ε模型 | 第34-35页 |
| ·控制方程的离散 | 第35-37页 |
| ·控制方程的通用形式 | 第35-36页 |
| ·离散化方法 | 第36-37页 |
| ·微分方程的离散 | 第37-40页 |
| ·控制方程的离散 | 第37-38页 |
| ·离散格式 | 第38-39页 |
| ·离散方程 | 第39-40页 |
| ·离散方程的计算方法 | 第40-41页 |
| ·交错网格 | 第41页 |
| ·基于SIMPLE算法的速度场和压力场的求解 | 第41-42页 |
| ·数值计算软件的介绍 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第5章 洁净室气流组织的模拟及分析 | 第44-57页 |
| ·前言 | 第44页 |
| ·模拟的物理模型及参数 | 第44-47页 |
| ·模拟的边界条件 | 第45-46页 |
| ·模拟的结果 | 第46-47页 |
| ·气流组织的比较和分析 | 第47-49页 |
| ·洁净室气流组织的评价指标 | 第47-49页 |
| ·气流组织的分析 | 第49页 |
| ·对单侧回风口的位置进行调整并模拟计算 | 第49-50页 |
| ·对双侧回风形式洁净室内气流的实验研究 | 第50-54页 |
| ·测试内容和测试仪器 | 第51页 |
| ·风机过滤器单元的平均风速的测量 | 第51-52页 |
| ·断面风速的测量 | 第52页 |
| ·测试结果及其分析 | 第52-54页 |
| ·放置有工作台的双侧回风口洁净室的模拟计算和分析 | 第54-56页 |
| ·结论 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第6章 全文总结与展望 | 第57-59页 |
| ·全文总结 | 第57-58页 |
| ·展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
