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电子束辐照对碳氮薄膜结构和力学性质的影响

中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 前言第7-24页
   ·研究背景第7-22页
     ·非晶碳氮薄膜第8-15页
   1 非晶碳氮薄膜的结构和组成第8-10页
   2 非晶碳氮薄膜的性质第10-14页
   3 非晶碳氮薄膜的制备第14-15页
     ·电子束辐照第15-22页
   1 抗辐射电子学第15页
   2 辐射与物质的相互作用第15-16页
   3 辐照下的自组织现象第16-21页
   4 辐照引起碳基纳米材料的磁性第21-22页
   ·存在的问题第22-23页
     ·碳氮薄膜研究中存在的问题第22页
     ·辐照碳氮薄膜第22-23页
   ·本论文工作第23-24页
第二章 碳氮薄膜的制备和表征第24-32页
   ·碳氮薄膜的制备第24-26页
     ·对向靶直流磁控溅射原理第24-25页
     ·薄膜的制备第25-26页
   ·辐照碳氮薄膜第26-28页
     ·电子感应加速器第26-27页
     ·辐照第27-28页
   ·碳氮薄膜的表征第28-32页
     ·XPS第28页
     ·拉曼光谱第28-29页
     ·纳米刻痕仪第29-32页
第三章 碳氮薄膜的成分和微观结构第32-41页
   ·XPS第32-36页
   ·拉曼光谱第36-40页
   ·本章小结第40-41页
第四章 电子束辐照对碳氮薄膜结构和力学性质的影响第41-49页
   ·辐照对碳氮薄膜结构的影响第41-46页
   ·辐照对碳氮薄膜力学性质的影响第46-47页
   ·本章小结第47-49页
第五章 结论第49-50页
参考文献第50-55页
硕士在读期间已发表和已完成的论文第55-56页
致谢第56页

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