ITO透明导电薄膜的研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-10页
·引言	第7页
·ITO透明导电膜的发展状况	第7-9页
·课题的研究目的及意义	第9-10页
第二章 ITO透明导电膜的基本原理	第10-25页
·透明导电膜简介	第10-12页
·ITO透明导电膜方块电阻的定义	第12-13页
·ITO透明导电膜的生长机理	第13页
·ITO透明导电膜的结构	第13-14页
·ITO透明导电膜的导电机理	第14-16页
·ITO透明导电膜的光学性能	第16-21页
·ITO透明导电膜的电磁屏蔽性	第21-24页
·ITO透明导电膜的化学性能	第24-25页
第三章 ITO透明导电膜的膜系设计	第25-43页
·膜系设计思路	第25页
·膜层材料的选择	第25-26页
·几种常用薄膜的性质	第26-27页
·ITO组合膜系的设计	第27-43页
第四章 ITO膜的制备过程及工艺分析	第43-53页
·ITO膜制备的装置	第43-45页
·ITO膜厚的测量及监控	第45-49页
·ITO膜制备工艺过程	第49-50页
·ITO膜质量问题的工艺分析及改进措施	第50-53页
第五章 实验结果及分析	第53-66页
·单层ITO膜实验数据及工艺分析	第53-61页
·实验成品片光谱曲线	第61-62页
·薄膜电阻均匀性测试	第62-65页
·薄膜附着力	第65-66页
结束语	第66-67页
致谢	第67-68页
参考文献	第68-69页