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C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究

第一章 引言第1-15页
   ·栅控脉冲行波管概况第7-10页
     ·栅控脉冲行波管结构与工作原理第7-8页
     ·行波管的栅极电子发射现象第8-9页
     ·行波管的应用第9-10页
   ·C 薄膜用来抑制栅电子发射的研究进展第10-13页
     ·C 膜的研究概况第10-11页
     ·C 膜抑制栅发射机理研究概况第11-13页
   ·Hf 及其它薄膜用来抑制栅电子发射的研究进展第13页
   ·本论文工作的意义及主要研究内容第13-15页
第二章 C、Hf薄膜及BaO涂层的制备第15-20页
   ·C 薄膜的制备第15-17页
     ·双离子束溅射沉积技术第15-16页
     ·C薄膜的沉积第16-17页
   ·Hf 薄膜的制备第17-18页
     ·射频磁控溅射沉积技术第17页
     ·Hf薄膜的沉积第17-18页
   ·BaO 涂层的制备第18-19页
   ·样品的退火处理第19-20页
第三章 C、Hf 薄膜及BaO 涂层的表征第20-25页
   ·膜厚的测量第20-21页
   ·透射电子显微镜以及选区电子衍射第21页
   ·X 射线衍射分析第21-22页
   ·Raman 光谱分析第22页
   ·扫描电子显微镜分析第22-23页
   ·差热分析第23页
   ·光电子能谱分析第23-25页
第四章 C 薄膜抑制栅发射机理研究第25-37页
   ·C 膜的制备及工艺研究第25-28页
   ·C 膜抑制栅电子发射机理的讨论第28-36页
     ·C 膜的形貌及结构第29-31页
     ·C 膜与BaO 的作用第31-32页
     ·行波管中可能的化学反应第32-35页
     ·C 膜抑制栅发射机理第35页
     ·行波管中C 膜的工作状态第35-36页
   ·本章小结第36-37页
第五章 Hf 薄膜抑制栅发射机理研究第37-46页
   ·Hf 膜的制备及结构第37-39页
   ·Hf 膜抑制栅电子发射机理的讨论第39-44页
     ·Hf 膜的性质第39-40页
     ·Hf 膜与BaO 的作用第40-41页
     ·行波管中可能的化学反应第41-43页
     ·Hf 膜抑制栅发射机理第43-44页
   ·本章小结第44-46页
第六章 结论第46-48页
参考文献第48-51页
硕士期间发表论文目录第51-52页
致谢第52-53页
详细摘要第53-55页

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