| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-6页 |
| 第一章 综述 | 第6-18页 |
| ·课题研究的背景 | 第6-7页 |
| ·纳米科学发展的背景 | 第6页 |
| ·纳米计量学及其发展 | 第6-7页 |
| ·纳米测量方法及发展现状 | 第7-16页 |
| ·非光学测量方法 | 第7-9页 |
| ·光学测量方法 | 第9-15页 |
| ·各种测量方法的小结 | 第15-16页 |
| ·论文的意义 | 第16-17页 |
| ·论文的组织结构 | 第17-18页 |
| 第二章 激光合成波长干涉纳米测量系统 | 第18-29页 |
| ·本章引言 | 第18页 |
| ·合成波长条纹细分原理及优势 | 第18-24页 |
| ·合成波长 | 第18页 |
| ·合成波长条纹细分原理 | 第18-20页 |
| ·合成波长条纹细分方法的优势 | 第20-21页 |
| ·基于合成波长条纹细分原理的纳米测量理论 | 第21-22页 |
| ·相位补偿时参考镜的移动方向 | 第22-24页 |
| ·系统结构和工作原理 | 第24-28页 |
| ·整体结构及工作原理 | 第24-25页 |
| ·系统机械结构 | 第25-27页 |
| ·影响测量精度的因素 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 激光干涉仪常用的信号处理方法 | 第29-36页 |
| ·本章引言 | 第29页 |
| ·目前常用的信号处理方法 | 第29-36页 |
| ·光学细分方法 | 第29-31页 |
| ·电子细分方法 | 第31-34页 |
| ·软件细分方法 | 第34-36页 |
| 第四章 信号处理系统设计 | 第36-61页 |
| ·本章引言 | 第36页 |
| ·系统信号处理方法概述 | 第36-38页 |
| ·进一步细分相位的意义 | 第36-37页 |
| ·系统信号处理的目的及要求 | 第37-38页 |
| ·系统的信号处理方法——CPLD实现大小数计数 | 第38页 |
| ·信号处理电路的设计及实现 | 第38-60页 |
| ·大数计数的LED显示电路的设计 | 第39-52页 |
| ·大数计数的要求及原理 | 第39-41页 |
| ·大数计数的LED显示电路的设计及器件选择 | 第41-46页 |
| ·大数计数对干涉条纹的细分讨论—一种8倍细分干涉条纹的大数计数方法 | 第46-48页 |
| ·大数计数的误计分析 | 第48-52页 |
| ·大小数结合的信号处理系统设计 | 第52-60页 |
| ·小数计数方法的选择 | 第53页 |
| ·大小数计数相结合的设计方法 | 第53-58页 |
| ·大小数计数结合测量的具体设计方案及性能指标 | 第58-60页 |
| ·器件的选择 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 系统实验 | 第61-66页 |
| ·本章引言 | 第61页 |
| ·对大数误计分析的实验论证 | 第61-63页 |
| ·对大小数结合计数电路的大数计数部分的实验论证 | 第63-66页 |
| 第六章 论文的总结与展望 | 第66-69页 |
| ·论文总结 | 第66-67页 |
| ·工作成果 | 第66页 |
| ·需进一步改进的工作 | 第66-67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |