扫描探针显微镜智能自动化策略研究及应用
| 中文摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·扫描探针显微镜的发展历程 | 第15-18页 |
| ·扫描探针显微镜自动化关键技术的研究现状 | 第18-23页 |
| ·X、y方向PZT非线性校正 | 第19-21页 |
| ·Z方向PZT恒值控制 | 第21-22页 |
| ·SPM自动标定 | 第22-23页 |
| ·扫描探针显微镜研究和应用中主要存在的自动化问题 | 第23-24页 |
| ·课题来源及研究意义 | 第24-25页 |
| ·课题来源 | 第24-25页 |
| ·研究意义 | 第25页 |
| ·本文主要的工作及内容安排 | 第25-28页 |
| 第二章 扫描探针显微镜及其执行机构的工作机理 | 第28-43页 |
| ·扫描探针显微镜系统结构 | 第28-29页 |
| ·扫描探针显微镜的工作原理 | 第29-32页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第29-30页 |
| ·原子力显微镜 | 第30-32页 |
| ·扫描探针显微镜中执行机构的特性描述与分析对比 | 第32-39页 |
| ·多线性模型 | 第32-33页 |
| ·Hysteron模型 | 第33-34页 |
| ·Bouc-Wen模型 | 第34-35页 |
| ·Chua-Stromsmoe模型 | 第35页 |
| ·Preisach模型 | 第35-36页 |
| ·Dahl模型 | 第36-37页 |
| ·H.Janochu-K.Kuhnen模型 | 第37-38页 |
| ·双向多项式模型 | 第38-39页 |
| ·压电执行器在SPM中的应用机理及改进方案 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 SPM自动化的理论基础 | 第43-61页 |
| ·引言 | 第43-46页 |
| ·H_∞鲁棒控制 | 第46-49页 |
| ·自适应滞后补偿控制 | 第49-55页 |
| ·Smith预估控制 | 第50页 |
| ·改进的Smith预估控制 | 第50-55页 |
| ·DNA软计算 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第四章 滞后补偿控制策略 | 第61-80页 |
| ·STM反馈控制网络 | 第61-63页 |
| ·稳态分析 | 第61-62页 |
| ·瞬态分析 | 第62-63页 |
| ·SPM控制策略 | 第63-79页 |
| ·Smith在线辨识预估控制 | 第63-65页 |
| ·鲁棒自整定Smith预估控制 | 第65-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 回滞非线性校正策略 | 第80-102页 |
| ·引言 | 第80-81页 |
| ·ARDNA软计算 | 第81-87页 |
| ·ARDNA的解码 | 第81-83页 |
| ·ARDNA的算法结构 | 第83-85页 |
| ·ARDNA在函数优化中的应用 | 第85-87页 |
| ·回滞非线性校正 | 第87-100页 |
| ·回滞非线性在线辨识和实时校正策略 | 第87-95页 |
| ·基于双向多项式模型的回滞非线性校正策略 | 第95-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 第六章 SPM智能校正及标定的实现策略研究 | 第102-111页 |
| ·特征数据测量 | 第102-107页 |
| ·标准样品 | 第102-103页 |
| ·特征数据测量算法 | 第103-107页 |
| ·压电执行器建模与非线性校正算法 | 第107页 |
| ·非正交误差测量与校正算法 | 第107-109页 |
| ·标定算法 | 第109-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 第七章 SPM智能自动化系统设计及实验 | 第111-124页 |
| ·软件设计与开发 | 第112-117页 |
| ·实验设计与结果分析 | 第117-123页 |
| ·本章小结 | 第123-124页 |
| 第八章 总结与展望 | 第124-127页 |
| ·本文总结 | 第124-125页 |
| ·展望 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及参加的项目 | 第138页 |
