| 第一章 绪论 | 第1-15页 |
| ·国内外超精密加工技术的发展概况 | 第6-8页 |
| ·硬脆材料精密超精密磨削技术的现状 | 第8-10页 |
| ·精密超精密磨削机床 | 第8-9页 |
| ·超精密磨削工具 | 第9-10页 |
| ·在线电解修整(ELID)磨削技术的研究现状及特点 | 第10-13页 |
| ·ELID磨削技术的原理 | 第10-12页 |
| ·ELID磨削的研究现状及特点 | 第12-13页 |
| ·本文的研究背景及主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 微进给工作台的设计及有限元分析 | 第15-37页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·微进给机构实现方案比较 | 第15-17页 |
| ·压电陶瓷的特性 | 第17-20页 |
| ·弹性铰链的设计 | 第20-26页 |
| ·弹性铰链的结构设计方法 | 第21-24页 |
| ·弹性铰链静力特性有限元分析 | 第24-26页 |
| ·微进给工作台的设计及有限元分析 | 第26-34页 |
| ·对弹性铰链所施加预紧力分析 | 第28-30页 |
| ·弹性铰链的有限元设计及参数的确定 | 第30-34页 |
| ·微进给平台位移特性的试验研究 | 第34-36页 |
| ·试验目的，仪器和方法 | 第34页 |
| ·试验结果及分析 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 铸铁结合剂金刚石砂轮电火花整形试验研究 | 第37-50页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·铸铁结合剂金刚石砂轮电火花整形原理 | 第37-38页 |
| ·铸铁结合剂金刚石砂轮电火花整形试验研究 | 第38-49页 |
| ·电火花整形试验系统及试验过程分析 | 第38-40页 |
| ·放电参数的选择 | 第40-42页 |
| ·电火花整形试验结果及分析 | 第42-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 全文结论 | 第50-51页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 致谢 | 第56页 |