| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| CONTENTS | 第10-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-20页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-18页 |
| ·空气静压导轨技术 | 第14-16页 |
| ·直线驱动的精密工作台技术 | 第16-18页 |
| ·本课题的来源、研究内容 | 第18-20页 |
| ·本课题的来源 | 第18-19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 静压气浮导轨动静态特性研究 | 第20-39页 |
| ·静压气浮导轨的结构 | 第20-23页 |
| ·静压气浮导轨静态特性数值计算理论 | 第23-28页 |
| ·小孔流量节流公式 | 第23页 |
| ·主体区的气流 | 第23-26页 |
| ·两端部的气流 | 第26-28页 |
| ·气浮导轨的承载力和刚度计算 | 第28页 |
| ·静压气浮导轨静态特性理论分析 | 第28-30页 |
| ·静压气浮导轨流场运动特性分析 | 第30-37页 |
| ·流体有限元建模 | 第30-31页 |
| ·边界条件的施加 | 第31页 |
| ·求解选项的设置 | 第31页 |
| ·气膜压力分布 | 第31-34页 |
| ·导轨承载能力和刚度分析 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 直线驱动式气浮平台控制系统建模及仿真分析 | 第39-55页 |
| ·直线电机简介 | 第39-40页 |
| ·永磁无刷同步直线电机的数学模型 | 第40-42页 |
| ·永磁同步直线电机解耦状态方程 | 第42-43页 |
| ·直线驱动式气浮平台控制系统建模及响应特性仿真分析 | 第43-54页 |
| ·电流环建模 | 第43-46页 |
| ·速度环建模 | 第46-49页 |
| ·位置环建模 | 第49-51页 |
| ·直线驱动式气浮平台系统响应特性仿真分析 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 直线驱动式气浮平台机电联合仿真分析与实验研究 | 第55-93页 |
| ·机电联合仿真技术简介 | 第55-56页 |
| ·基于ADAMS的动力学基础理论 | 第56-60页 |
| ·ADMAS动力学方程 | 第56-58页 |
| ·ADAMS的方程求解算法 | 第58-60页 |
| ·直线驱动式气浮平台机电联合建模 | 第60-66页 |
| ·直线驱动式气浮平台机械系统建模 | 第60-62页 |
| ·阻尼器参数值的确定 | 第62-63页 |
| ·直线驱动式静压气浮平台ADAMS模型输入和输出的确定 | 第63-65页 |
| ·直线驱动式气浮平台的机电联合仿真模型的建立 | 第65-66页 |
| ·直线驱动式气浮平台动力学仿真分析 | 第66-74页 |
| ·运动轨迹规划 | 第66-67页 |
| ·分析结果 | 第67-74页 |
| ·直线驱动式气浮平台运动性能实验研究 | 第74-88页 |
| ·实验装置 | 第74-76页 |
| ·实验方法与目的 | 第76页 |
| ·实验结果 | 第76-88页 |
| ·直线驱动式气浮平台运动测试 | 第88-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 第五章 直线驱动式气浮平台定位精度测试及误差补偿研究 | 第93-106页 |
| ·激光干涉仪的测量原理 | 第93-94页 |
| ·激光干涉仪的安装及测试系统调试 | 第94-95页 |
| ·定位精度测试与分析 | 第95-99页 |
| ·测试准备工作 | 第95-96页 |
| ·数据的采集与分析 | 第96-99页 |
| ·直线驱动式气浮平台定位误差分析与补偿 | 第99-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 第六章 直线驱动式气浮平台控制系统改进方案 | 第106-115页 |
| ·按扰动补偿的复合控制 | 第106-107页 |
| ·按输入补偿的复合控制 | 第107-111页 |
| ·带有前馈控制的直线驱动式气浮运动平台机电联合仿真分析 | 第111-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 总结与展望 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-121页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第121-123页 |
| 致谢 | 第123页 |
