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Bi2201薄膜厚度测定及择优取向的X射线法研究

中文摘要第1-6页
ABSTRACT第6-9页
第1章 绪论第9-19页
   ·引言第9-10页
     ·高温超导薄膜概述及应用第9-10页
   ·研究现状与进展第10-16页
     ·薄膜厚度研究进展第11-14页
     ·薄膜择优取向测量研究进展第14-15页
     ·薄膜形核与外延机制的研究进展第15-16页
   ·本文研究目的及意义第16-19页
     ·本文研究目的第16-17页
     ·本文研究意义第17-19页
第2章 实验原理与方法第19-31页
   ·样品制备第19-21页
     ·薄膜的制备方法第19页
     ·薄膜形核生长理论第19-21页
   ·样品表征手段第21-31页
     ·XRR测量薄膜厚度第21-27页
     ·X射线Φ扫法原理第27-31页
第3章 Bi2201薄膜制备前期工作第31-49页
   ·Bi2201薄膜制备前期工作第31-42页
     ·蒸发速率的测量第31-39页
     ·高浓度臭氧第39-42页
   ·Bi2201薄膜制备第42-44页
   ·Bi2201薄膜厚度研究第44-48页
     ·XRR法测量Bi2201薄膜厚度第44-46页
     ·XRR方法的精确性研究第46-48页
   ·本章小结第48-49页
第4章 Bi2201薄膜择优取向研究第49-59页
   ·Bi2201择优取向的测量及面内错配情况第49-55页
   ·Bi2201在MgO(001)上的倾转第55-56页
   ·Bi2201薄膜择优取向性质随厚度的变化关系第56-58页
   ·本章小结第58-59页
第5章 全文总结论第59-61页
参考文献第61-69页
附录第69-71页
致谢第71-72页

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