基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统误差分析与校正
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·MEMS 光学测试技术 | 第10-12页 |
| ·传统干涉技术 | 第10页 |
| ·电子散斑干涉技术 (ESPI) | 第10-11页 |
| ·光纤干涉测量方法 | 第11-12页 |
| ·典型 MEMS 静动态测试技术 | 第12-19页 |
| ·计算机微视觉 MEMS 动态测试系统 | 第12-13页 |
| ·基于频闪干涉的 MEMS 动态测试系统 | 第13-16页 |
| ·MEMS 静态测试系统 | 第16-19页 |
| ·本课题研究的主要目的和内容 | 第19-21页 |
| 第二章 相移干涉测试技术 | 第21-38页 |
| ·介绍 | 第21页 |
| ·相移干涉技术 | 第21-24页 |
| ·步进相移干涉术 | 第22-23页 |
| ·线性连续相移干涉原理 | 第23-24页 |
| ·移相方法 | 第24页 |
| ·相移算法 | 第24-28页 |
| ·传统相位提取算法 | 第25-26页 |
| ·快速相移算法 | 第26-28页 |
| ·相位去包裹算法 | 第28-36页 |
| ·传统相位去包裹模型 | 第28-30页 |
| ·全局相位去包裹算法 | 第30-32页 |
| ·局部相位去包裹算法 | 第32-36页 |
| ·相位去包裹实例 | 第36-38页 |
| 第三章 相移干涉系统及其误差分析 | 第38-52页 |
| ·相移干涉系统组成 | 第38-41页 |
| ·测量系统组成元件 | 第39-40页 |
| ·光学系统参数 | 第40-41页 |
| ·光学系统误差分析 | 第41-46页 |
| ·连续变倍扩束镜导致的误差 | 第42-43页 |
| ·分光路干涉条件下的干涉误差 | 第43-46页 |
| ·相移器的移相误差 | 第46-48页 |
| ·测量系统的其他元件误差分析 | 第48-51页 |
| ·光源的影响 | 第48页 |
| ·CCD 探测器误差的影响 | 第48-49页 |
| ·空气扰动及环境振动 | 第49-50页 |
| ·其他光学器件的误差 | 第50页 |
| ·样品倾斜对测量结果的影响 | 第50-51页 |
| ·误差分析总结 | 第51-52页 |
| 第四章 波前拟合及系统误差校正 | 第52-68页 |
| ·波前拟合及Zernike 多项式 | 第52-56页 |
| ·Zernike 多项式 | 第52-55页 |
| ·波面拟合算法 | 第55-56页 |
| ·系统误差标定及波面拟合结果 | 第56-62页 |
| ·系统误差标定 | 第56-58页 |
| ·Zernike 多项式拟合结果 | 第58-59页 |
| ·系统像差拟合结果 | 第59-62页 |
| ·平面度测量时系统误差的校正 | 第62-66页 |
| ·平面度测量方法 | 第62-63页 |
| ·光学平面反射镜的面形测量 | 第63-66页 |
| ·MEMS 变形镜的平面度测试 | 第66-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·工作总结 | 第68页 |
| ·展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 在读硕士期间发表的论文与取得的研究成果 | 第76页 |
