| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-31页 |
| §1.1 DLC薄膜的组成、分类和结构 | 第9-13页 |
| §1.2 DLC薄膜的制备方法 | 第13-21页 |
| §1.2.1 物理气相沉积法(Physical vapour deposition) | 第13-17页 |
| §1.2.2 化学气相沉积法(Chemical vapour deposition) | 第17-21页 |
| §1.3 DLC薄膜的性能及应用 | 第21-22页 |
| §1.3.1 机械领域 | 第21页 |
| §1.3.2 光学和电子学领域 | 第21-22页 |
| §1.3.3 航空航天领域 | 第22页 |
| §1.3.4 生物医学领域 | 第22页 |
| §1.4 选题依据及研究背景 | 第22-25页 |
| §1.4.1 选题依据 | 第22-24页 |
| §1.4.2 研究内容 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-31页 |
| 第二章 离子束溅射法DLC膜的制备及其性能表征 | 第31-45页 |
| §2.1 引言 | 第31-33页 |
| §2.2 薄膜沉积 | 第33页 |
| §2.3 薄膜性能表征 | 第33-35页 |
| §2.4 结果与讨论 | 第35-42页 |
| §2.4.1 薄膜微观结构及形貌 | 第35-38页 |
| §2.4.2 薄膜摩擦学性能考察 | 第38-41页 |
| §2.4.3 薄膜电化学腐蚀性能测试 | 第41-42页 |
| §2.5 本章小结 | 第42页 |
| 参考文献 | 第42-45页 |
| 第三章 复合DLC膜的制备及其摩擦学性能、腐蚀行为研究 | 第45-69页 |
| §引言 | 第45-46页 |
| 第一节 SiN_x/DLC膜的制备及其摩擦学性能研究 | 第46-56页 |
| §3.1 SiN_x/DLC复合膜的制备 | 第47-48页 |
| §3.2 性能检测 | 第48-49页 |
| §3.3 结果与讨论 | 第49-56页 |
| §3.3.1 薄膜形貌 | 第49-50页 |
| §3.3.2 薄膜XPS分析 | 第50-51页 |
| §3.3.3 薄膜Raman光谱分析 | 第51-52页 |
| §3.3.4 薄膜摩擦学行为测试 | 第52-54页 |
| §3.3.5 薄膜浸润性测试 | 第54-56页 |
| §3.4 本节小结 | 第56页 |
| 第二节(C/C)_n多层软硬交替碳膜的制备及其摩擦学行为研究 | 第56-65页 |
| §3.1 实验部分 | 第57-58页 |
| §3.1.1 基底预处理 | 第57页 |
| §3.1.2 薄膜制备 | 第57-58页 |
| §3.1.3 性能检测 | 第58页 |
| §3.2 结果与讨论 | 第58-64页 |
| §3.2.1 薄膜形貌 | 第58-59页 |
| §3.2.2 薄膜微观结构分析 | 第59-61页 |
| §3.2.3 薄膜成分分析 | 第61-62页 |
| §3.2.4 薄膜摩擦学性能测试 | 第62-63页 |
| §3.2.5 薄膜电化学腐蚀性能测试 | 第63-64页 |
| §3.3 本节小结 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 第四章 结束语 | 第69-71页 |
| §4.1 主要结论 | 第69页 |
| §4.2 问题与展望 | 第69-71页 |
| 硕士期间完成的论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
