基于空间平均静态及动态散斑法表面粗糙度测量技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-37页 |
| ·课题背景 | 第15-16页 |
| ·表面粗糙度测量方法及研究进展 | 第16-32页 |
| ·轮廓技术 | 第16-22页 |
| ·参数技术 | 第22-31页 |
| ·在线/过程中测量 | 第31-32页 |
| ·目前测量方法存在的问题 | 第32-34页 |
| ·光散射法存在的问题 | 第33页 |
| ·散斑法存在的问题 | 第33-34页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第34-35页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第35-37页 |
| 第2章 反射型粗糙表面衍射方程的建立 | 第37-54页 |
| ·引言 | 第37-40页 |
| ·平面衍射屏的基尔霍夫衍射公式 | 第40-43页 |
| ·亥姆霍兹-基尔霍夫积分定理及应用 | 第40-42页 |
| ·基尔霍夫边界条件 | 第42页 |
| ·菲涅耳-基尔霍夫衍射公式 | 第42-43页 |
| ·反射型粗糙面通用衍射方程的建立 | 第43-48页 |
| ·菲涅耳-基尔霍夫衍射公式的进一步解释 | 第43-45页 |
| ·反射型粗糙面衍射模型的建立 | 第45页 |
| ·反射型粗糙面通用衍射方程 | 第45-48页 |
| ·反射型粗糙面近场及远场衍射方程的建立 | 第48-52页 |
| ·衍射几何与坐标旋转 | 第48-50页 |
| ·近似计算 | 第50-51页 |
| ·近场及远场衍射方程 | 第51-52页 |
| ·与菲涅耳-及夫琅和费-衍射公式的比较 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 静态散斑法表面粗糙度测量理论的建立 | 第54-68页 |
| ·引言 | 第54-56页 |
| ·粗糙面的近场衍射方程 | 第56-58页 |
| ·观察面光强统计特性 | 第58-63页 |
| ·总平均光强 | 第58-59页 |
| ·镜射光强分量 | 第59-60页 |
| ·平均漫射光强分量 | 第60-63页 |
| ·SAM测量原理 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第4章 静态散斑法测量的计算机模拟及实验 | 第68-94页 |
| ·引言 | 第68-69页 |
| ·随机表面的产生 | 第69-74页 |
| ·生成原理 | 第69-73页 |
| ·随机表面统计特性验证 | 第73-74页 |
| ·散斑场的数值模拟 | 第74-75页 |
| ·衍射积分方程的离散化 | 第74-75页 |
| ·观察面光强分布 | 第75页 |
| ·SAM特性分析 | 第75-86页 |
| ·入射波长对测量的影响 | 第77-78页 |
| ·入射角对测量的影响 | 第78-80页 |
| ·SAM与SCM及LSM特性的比较 | 第80-86页 |
| ·静态散斑法测量实验 | 第86-93页 |
| ·实验过程 | 第86-88页 |
| ·实验结果及分析 | 第88-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第5章 动态散斑法表面粗糙度测量理论的建立 | 第94-106页 |
| ·引言 | 第94页 |
| ·动态散斑法测量表面粗糙度的理论基础 | 第94-104页 |
| ·动态散斑场光强分布时间平稳特性分析 | 第94-98页 |
| ·动态散斑图像数学模型的建立 | 第98-99页 |
| ·动态散斑图像统计特性分析 | 第99-103页 |
| ·动态散斑图像的特征参数 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-106页 |
| 第6章 动态散斑法测量的计算机模拟及实验 | 第106-119页 |
| ·引言 | 第106页 |
| ·动态散斑法计算机模拟 | 第106-112页 |
| ·表面相关长度对测量的影响 | 第106-108页 |
| ·样本运动速度对测量的影响 | 第108-109页 |
| ·相机曝光时间对测量的影响 | 第109页 |
| ·振动对测量的影响 | 第109-112页 |
| ·动态散斑法测量实验 | 第112-118页 |
| ·实验过程 | 第112-114页 |
| ·实验结果及分析 | 第114-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 结论 | 第119-121页 |
| 参考文献 | 第121-134页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第134-136页 |
| 致谢 | 第136-137页 |
| 个人简历 | 第137页 |
