| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·BATIO_3结构和性能 | 第9-13页 |
| ·BaTiO_3基本结构 | 第9-11页 |
| ·BaTiO_3陶瓷的电性能 | 第11-13页 |
| ·铁电体材料 | 第13-16页 |
| ·铁电体分类 | 第13-14页 |
| ·铁电性 | 第14-16页 |
| ·铁电薄膜 | 第16-23页 |
| ·铁电薄膜制备技术 | 第17-20页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第20-23页 |
| 第二章 BST材料概述 | 第23-30页 |
| ·BST 的性能参数 | 第23-24页 |
| ·BT 材料掺杂改性研究 | 第24-28页 |
| ·BT 的掺杂类型 | 第24-26页 |
| ·掺杂对钛酸钡性质的影响 | 第26-28页 |
| ·BST 薄膜的研究现状 | 第28页 |
| ·本论文的主要内容 | 第28-30页 |
| 第三章 溶胶-凝胶法原理及制备BA_(1-X)SR_XTIO_3薄膜的工艺 | 第30-40页 |
| ·溶胶-凝胶法的基本原理 | 第30-31页 |
| ·实验原料和仪器 | 第31-33页 |
| ·实验原料 | 第31页 |
| ·实验设备及器材 | 第31-32页 |
| ·基片的清洗 | 第32-33页 |
| ·溶胶的配制 | 第33-38页 |
| ·溶胶的配制过程 | 第33页 |
| ·溶胶制备的反应机理 | 第33-34页 |
| ·成膜及薄膜的热处理 | 第34-38页 |
| ·薄膜的结构及性能测试 | 第38-40页 |
| ·物相结构分析 | 第38页 |
| ·显微结构分析 | 第38-39页 |
| ·介电性能测试 | 第39-40页 |
| 第四章 BA_(1-X)SR_XTIO_3薄膜性能分析 | 第40-54页 |
| ·BA_(1-X)SR_XTIO_3薄膜的XRD 分析 | 第40-43页 |
| ·不同退火温度下BST 薄膜XRD 分析 | 第40-42页 |
| ·相同退火温度不同掺杂比例BST 薄膜的XRD 分析 | 第42-43页 |
| ·BA_(1-X)SR_XTIO_3薄膜表征分析 | 第43-47页 |
| ·BA_(1-X)SR_XTIO_3薄膜介电性能分析 | 第47-54页 |
| ·Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜的介频性能 | 第47-49页 |
| ·Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜的介温性能 | 第49-54页 |
| 第五章 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 在学研究成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
