基于变波长激光器测量平行平板的平行度
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第7-8页 |
| ·项目来源 | 第8页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第8-10页 |
| 2 移相干涉技术 | 第10-24页 |
| ·移相干涉术的基本原理 | 第10-13页 |
| ·常见的移相方法 | 第13-16页 |
| ·时间移相法 | 第13-15页 |
| ·空间移相法 | 第15-16页 |
| ·波长移相法 | 第16页 |
| ·波长可调谐半导体激光器 | 第16-22页 |
| ·可调谐半导体激光器的调谐机理 | 第16-18页 |
| ·可调谐半导体激光器的波长稳定 | 第18-19页 |
| ·可调谐半导体激光器 | 第19-20页 |
| ·半导体激光器的驱动电路 | 第20-22页 |
| ·移相干涉术的应用 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 基于平行平板测量的移相算法 | 第24-41页 |
| ·波长移相干涉测量原理 | 第24-26页 |
| ·波长移相基本原理 | 第24-26页 |
| ·加权多步波长移相干涉测量原理 | 第26-36页 |
| ·算法设计思想 | 第29-30页 |
| ·窗函数设计 | 第30-35页 |
| ·加权多步波长19步算法设计 | 第35-36页 |
| ·基于时域傅里叶变换波长移相算法 | 第36-38页 |
| ·算法基本原理 | 第36-37页 |
| ·算法测量范围讨论 | 第37-38页 |
| ·解包相位 | 第38-40页 |
| ·相位解包的原理 | 第38-39页 |
| ·区域增长法 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 平行平板测量的实验系统 | 第41-51页 |
| ·平行平板测量的实验装置系统构建 | 第41-43页 |
| ·课题实验装置 | 第41-42页 |
| ·干涉系统 | 第42-43页 |
| ·实验结果与分析 | 第43-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 结论 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
