| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-30页 |
| 1.1 飞行器表面压力测量的背景与意义 | 第10-13页 |
| 1.2 机翼压力测量的国内外研究与柔性微流体传感器的发展现状 | 第13-28页 |
| 1.2.1 机翼压力测量的国内外研究 | 第13-16页 |
| 1.2.2 柔性微流体传感器的发展现状 | 第16-28页 |
| 1.3 论文的主要工作和内容安排 | 第28-30页 |
| 第二章 柔性微流体传感器的原理与设计 | 第30-52页 |
| 2.1 柔性微流体传感器的原理 | 第30-33页 |
| 2.2 柔性微流体传感器设计思路 | 第33-52页 |
| 2.2.1 传感器的基础设计思路 | 第33-35页 |
| 2.2.2 表面张力的介绍 | 第35-37页 |
| 2.2.3 材料的选择 | 第37-43页 |
| 2.2.4 流道的设计 | 第43-49页 |
| 2.2.5 电极的设计 | 第49-52页 |
| 第三章 柔性微流体传感器的制作 | 第52-70页 |
| 3.1 引言 | 第52-53页 |
| 3.2 模具的加工 | 第53-62页 |
| 3.2.1 光刻工艺的介绍 | 第54-56页 |
| 3.2.2 掩膜的选择与制作 | 第56-58页 |
| 3.2.3 光刻步骤的介绍 | 第58-62页 |
| 3.3 弹性体基底的模塑与基底键合 | 第62-65页 |
| 3.4 液体的注入与电极的加工 | 第65-70页 |
| 第四章 柔性微流体传感器的测试 | 第70-82页 |
| 4.1 测试内容和测试平台设计 | 第70-73页 |
| 4.2 传感器在压力下的表现结果 | 第73-79页 |
| 4.2.1 对设计B的传感器压力测试 | 第73-76页 |
| 4.2.2 对设计C的传感器压力测试 | 第76-79页 |
| 4.3 测试结果分析 | 第79-82页 |
| 第五章 结论与展望 | 第82-86页 |
| 5.1 总结 | 第82-83页 |
| 5.2 展望 | 第83-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 致谢 | 第90页 |