| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-24页 |
| 1.1 研究背景、目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-22页 |
| 1.2.1 石墨烯的发展现状 | 第9-13页 |
| 1.2.2 石墨烯压力传感器的发展现状 | 第13-22页 |
| 1.3 论文主要研究内容和章节安排 | 第22-24页 |
| 第二章 石墨烯压力传感器敏感元件结构及工艺设计 | 第24-37页 |
| 2.1 石墨烯压力传感器敏感元件的力敏机理 | 第24-26页 |
| 2.2 石墨烯压力传感器敏感元件的工艺方案设计 | 第26-34页 |
| 2.3 石墨烯压力传感器敏感元件的掩膜版设计 | 第34-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结的制备工艺 | 第37-42页 |
| 3.1 石墨烯的转移工艺 | 第37-39页 |
| 3.2 氮化硼的转移工艺 | 第39-40页 |
| 3.3 异质结构的合成工艺 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 石墨烯压力传感器敏感元件的制造工艺 | 第42-52页 |
| 4.1 沉积底层金属电极 | 第42-44页 |
| 4.2 刻蚀压力腔室 | 第44-45页 |
| 4.3 沉积顶层金属电极 | 第45-47页 |
| 4.4 组装敏感元件 | 第47-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 石墨烯压力传感器敏感元件的测试 | 第52-61页 |
| 5.1 石墨烯转移质量表征实验 | 第52-53页 |
| 5.2 氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结构电学性能测试 | 第53-54页 |
| 5.3 石墨烯压力传感器敏感元件力敏特性测试 | 第54-56页 |
| 5.4 石墨烯压力传感器敏感元件稳定性测试 | 第56-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |